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深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第16年

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XTC/3-薄膜鍍層控制儀的用途特點(diǎn)及技術(shù)規(guī)范

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XTC/3-薄膜鍍層控制儀的用途特點(diǎn)及技術(shù)規(guī)范

特 點(diǎn)
■有單膜層和多膜層型號(hào)
■ModelLock技術(shù)防止由于模式跳躍導(dǎo)致的膜厚誤差
XTC/3M多膜層型號(hào)支持多至99個(gè)工藝過程,999個(gè)膜層,32個(gè)鍍層,2個(gè)
傳感器和兩個(gè)源
支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和雙探頭自動(dòng)晶體切換,用于zui高生產(chǎn)率
易閱讀的TFT LCD圖形顯示器
XTC/3S單膜層型號(hào)支持多至9個(gè)鍍層,2個(gè)傳感器和兩個(gè)源
有以太網(wǎng)連接軟件
單獨(dú)運(yùn)行(無需計(jì)算機(jī))或用PC運(yùn)行的Windows®軟件選件
為便于檢索,可*的和描述性的薄膜與過程名稱
■INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換見(限于XTC/2功能和指令組)
 
    用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1技術(shù),提供可靠的模式跳躍防 止功能,可達(dá)到始終如一的鍍膜質(zhì)量。使用XTC/3 薄膜鍍層控制儀,可高度地控制鍍膜速率與膜層厚度,具有能控制幾乎任何膜層數(shù)量的能力。容易安裝和*的可靠性,可確保高的生產(chǎn)率。
 

 
技術(shù)規(guī)范
功能,參數(shù),或技術(shù)規(guī)范
XTC/3S單層膜
XTC/3M多層膜
測(cè)量分辨的頻率變化
0.05Hz
0.05Hz
測(cè)量區(qū)間
0.25
0.25
厚度和速率分辨/測(cè)量
0.06A,在工具/密度=100
0.06A,在工具/密度=100
 
基頻=6M Hz
基頻=6M Hz
支持XTAL2轉(zhuǎn)換
計(jì)算機(jī)通訊
RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件
RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件
zui大RS232波特率
115.2千波特
115.2千波特
繼電器數(shù)
12標(biāo)準(zhǔn), 無事例可
12標(biāo)準(zhǔn), 事例可
可編程繼電器功能數(shù)
1
1
每個(gè)繼電器功能
1
1
繼電器電壓額定值
30伏直流或30伏交流RMS30伏直流
30伏直流或30伏交流RMS30伏直流
 
42V,2.5
42V,2.5
輸入數(shù)
8TTL, 24伏直流zui大
8TTL, 24伏直流zui大
可編程輸入功能數(shù)
1, 無事例可
1, 事例
記入儀輸入數(shù)
1
1
手動(dòng)電源/手持控制器
排風(fēng)扇
測(cè)試模式
擋光器延遲
次級(jí)工具
zui大允許相移頻率
1.0 M Hz
1.0 M Hz
機(jī)箱尺寸
1/2機(jī)架,2U高度
1/2機(jī)架,2U高度
速率和膜厚顯示分辨
0.1A, 0.099.9A/;1A/,
100999A/
0.1A, 0.099.9A/;1A/,
100999A/
 
顯示膜厚分辨=1A
顯示膜厚分辨=1A
通過輸入選擇鍍層
用戶指導(dǎo)語言
英文,中文
英文,中文
控制環(huán)
       PID
PID
數(shù)據(jù)登錄
質(zhì)量和穩(wěn)定性功能
樣品和保持
坩堝選擇
坩堝反饋輸入
選擇控制電壓極性
是,+/-2.5510
是,+/-2.5510
 
15-位分辨率
15-位分辨率
程序鎖定碼
       
       
用戶標(biāo)簽過程/鍍層
       
       
XTC/2 RS232通訊兼容性
是(有限的)
是(有限的)

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