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IE414和IE514是基于熱陰極電離效應的高超真空傳感器。IE414是Bayard-Alpert量規,而IE514基于Extractor提取器原理。這些無源真...
PSG010、PSG017和PSG018為歷史悠久的無源皮拉尼真空計,旨在使用真空計控制器VGC094進行操作。它們專為真空測量氣體而設計壓力范圍為8×...
NFICON無源冷陰極規頭MAG084專為與真空計控制器VGC094一起使用。它們采用緊湊的設計,使其成為一種簡單而堅固的真空計,適用于多種工業應用。真空測量頭...
VGC094真空計控器是真空過程測量、控制和數據記錄的解決方案。VGC094與各種INFICON無源真空計兼容,能夠監測1×10-11至1000毫巴的...
離子基準真空計IRG080是為真空系統中的精確總壓力測量而開發的一款真空傳感器。這種無源傳感器基于創新電 離理念,熱陰極發射的電子沿直線進入法拉第杯。IRG08...
離子基準真空計控制器IRC081及其用戶界面是離子基準真空計IRG080的標準化的操作和顯示界面IRC081與IRG080結合使用,可在10-8毫巴(10-6帕...
對于測量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應用,Trigon™ 系列包括雙技術 BPG552 真空計。...
對于需要獨立熱離子規技術的應用,Trigon™ 系列中包含了采用單一技術的 Bayard-Alpert 熱電離規 BAG552。BAG552 專為壓...
TripleGauge® BCG552 在一個傳感器法蘭中集成了 3 個真空傳感元件。這款新型 TrigonTM 系列的旗艦產品具有極寬的測量范圍,從...
質量流量控制器 V 系列 MFC 是用于精確控制氣體質量流量的設備,MFC 既可應用于半導體前段制程,如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等設備中...
半導體 Showerhead,中文名稱為噴淋頭、氣體分配盤或勻氣盤,是半導體制造設備中的核心部件,在半導體生產過程中起著關鍵作用12。可應用于半導體前制程設備如...
P 系列 MFC質量流量控制器MFC 既可應用于半導體前段制程,如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等設備中, 也在光伏能源、真空鍍膜等領域有可觀...
質量流量控制器MFCT 系列 MFC采用熱式傳感器 + 低熱電磁閥 + 壓力傳感技術滿足主流測量精度 ≤±1.0% S.P. (25% - 100% ...
新型 INFICON 真空計控制器 VGC083 設計用于與無源壓力計頭 BAG05x 和 PGE050 配合使用,采用兩個 PGE050 壓力表和一個 BAG...
Bayard-Alpert熱電離真空計TrigonTM BAG552對于需要獨立熱電離計技術的應用,TrigonTM系列包含單一技術Bayard-Alpert熱...
TripleGauge®BCG552將3個真空傳感元件組合在一個傳感器中。這款新TrigonTM系列的旗艦產品提供了從UHV(5x10-10)到大氣壓...
NFICON PBR 260是一種組合式真空計,在一個緊湊 的單一位置上作為兩個真空計運行。主要的測量原理是根據Bayard-Alpert原理的熱陰極真空計,該...
INFICON倒置磁控管真空計MAG470的測量范圍為5×10-11毫巴至1×10-2毫巴(3.8×10-11Torr至7.5...
過程測量、控制和數據記錄的可持續解決方案TPG36x有 源真空計控制器與各種INFICON有源真空計兼容,能夠監 測和記錄整個壓力范圍(10-10至1500毫巴...
INFICON推出的ELT3000是一款的電芯測試系統,旨在幫助用戶滿足ISO 9000標準要求。它是市面上支持直接檢漏的電池檢儀無需借助任何間接參數(例如壓力...
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