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流量控制儀

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASSFLOWCONTROLLER”(簡(jiǎn)稱MFC),它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。中文名質(zhì)量流量控制器外文名MASSFLOWCONTROLLER用途用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量特點(diǎn)精度高,重復(fù)性好類型質(zhì)量流量計(jì)1簡(jiǎn)介質(zhì)量流量控制器它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。2用途與特點(diǎn)質(zhì)量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射

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    適用于各種液體、蒸汽、一般氣體等的流量測(cè)量控制,流量積算儀通常與標(biāo)準(zhǔn)節(jié)流裝置(標(biāo)準(zhǔn)孔板、標(biāo)準(zhǔn)噴嘴,經(jīng)典文丘里管、機(jī)翼測(cè)風(fēng)裝置、雙文氏里管、V錐流量計(jì)、楔形流量計(jì)和插入式多喉徑流量計(jì))、渦輪流量計(jì)、渦街流量計(jì)、電磁流量計(jì)、超聲波流量計(jì)等流量傳感器或差壓變送器配套使用。尤其適用于過(guò)熱蒸汽流量和飽和蒸汽的流量及熱能測(cè)量積算控制。
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    LD108-7BAF224流量積算儀產(chǎn)品概述
    適用于各種液體、蒸汽、一般氣體等的流量測(cè)量控制,LD108系列流量積算儀通常與標(biāo)準(zhǔn)節(jié)流裝置(標(biāo)準(zhǔn)孔板、標(biāo)準(zhǔn)噴嘴,經(jīng)典文丘里管、機(jī)翼測(cè)風(fēng)裝置、雙文氏里管、V錐流量計(jì)、楔形流量計(jì)和插入式多喉徑流量計(jì))、渦輪流量計(jì)、渦街流量計(jì)、電磁流量計(jì)、超聲波流量計(jì)等流量傳感器或差壓變送器配套使用。尤其適用于過(guò)熱蒸汽流量和飽和蒸汽的流量及熱能測(cè)量積算控制。
  • 質(zhì)量流量控制器

    質(zhì)量流量控制器 V 系列 MFC 是用于精確控制氣體質(zhì)量流量的設(shè)備,MFC 既可應(yīng)用于半導(dǎo)體前段制程,如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等設(shè)備中, 也在光伏能源、真空鍍膜等領(lǐng)域有可觀的市場(chǎng)。
    MFC 可通過(guò)對(duì)氣體流量的精準(zhǔn)控制,有效地提供更高的良率。
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    BROOKS布魯克斯流量控制器 QMCC系列


    為真正實(shí)現(xiàn)對(duì)每個(gè)過(guò)程的控制,用戶必須精確測(cè)量進(jìn)行中的過(guò)程-范圍涉及饋線、倉(cāng)室等每一處-然后利用所

    得到的實(shí)時(shí)信息確保過(guò)程準(zhǔn)確按照目標(biāo)執(zhí)行并達(dá)到目標(biāo)產(chǎn)率。
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