詳細摘要: PICOFLOW™系統的目的是減緩反應氣體從反應腔中排出,從而增加其在反應腔中的停留時間。這允許前驅體有更長的時間擴散至樣品表面,對于提高通孔、高度...
產品型號:PICOFLOW 擴散增強所在地:北京市更新時間:2018-05-15 在線留言
北京正通遠恒科技有限公司
詳細摘要: PICOFLOW™系統的目的是減緩反應氣體從反應腔中排出,從而增加其在反應腔中的停留時間。這允許前驅體有更長的時間擴散至樣品表面,對于提高通孔、高度...
產品型號:PICOFLOW 擴散增強所在地:北京市更新時間:2018-05-15 在線留言詳細摘要: 原子層沉積系統ALD R-200 AdvancedPICOSUN™ R系列ALD產品能夠沉積高質量薄膜,即使襯底結構十分復雜,如多孔材料、高深寬比的...
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