當(dāng)前，壓力傳感器應(yīng)用非常廣泛，但超低溫壓力傳感器一般只在軍事和科研上使用。尤其是在軍事上，對(duì)壓力傳感器的要求非?？量獭Ｄ壳败娪玫蜏貕毫鞲衅髌毡榭梢栽?200℃環(huán)境下穩(wěn)定工作，性能上需拓展。

 

　　為此，*公司九院704所自2009年起，開(kāi)始研制超低溫壓力傳感器和超低溫脈動(dòng)壓力傳感器。

 

　　據(jù)資料，該低溫型脈動(dòng)壓力傳感器屬于電阻應(yīng)變式壓力傳感器。傳感器采用離子束濺射薄膜技術(shù)，在金屬膜片上直接生成電介質(zhì)隔離膜和功能材料電阻膜（薄膜應(yīng)變電阻），在電阻膜上制作應(yīng)變電阻，組成惠斯通電橋。當(dāng)被測(cè)介質(zhì)的壓力發(fā)生變化時(shí)，應(yīng)變電阻阻值也隨之變化，從而使傳感器輸出電壓值發(fā)生變化。傳感器金屬膜片上還制備了一個(gè)測(cè)溫電阻，通過(guò)測(cè)溫電阻，當(dāng)傳感器的工作環(huán)境溫度發(fā)生變化時(shí)，測(cè)溫電阻阻值也隨之變化，并提供給變換器，通過(guò)變換器獲取工作環(huán)境溫度。低溫型脈動(dòng)壓力傳感器系統(tǒng)具有使用測(cè)量低溫區(qū)寬的特點(diǎn)，傳感器使用溫度范圍為-253℃~ 60℃(液氫溫度)；測(cè)量范圍：(0～60)）MPa。

 

　　研制團(tuán)隊(duì)攻克了多項(xiàng)關(guān)鍵設(shè)計(jì)技術(shù)及工藝技術(shù)，用4年時(shí)間在國(guó)內(nèi)解決了液氫溫度壓力傳感器的校準(zhǔn)難題。通過(guò)多次試車(chē)，于日前參加飛行任務(wù)并獲圓滿(mǎn)成功。該型壓力傳感器用于測(cè)量新一代運(yùn)載火箭發(fā)動(dòng)機(jī)入口推進(jìn)劑輸送管脈動(dòng)壓力。該產(chǎn)品的首飛成功表明該所航天壓力傳感器的低溫工作溫度已經(jīng)拓寬到液氫溫度環(huán)境，提升了壓力傳感器專(zhuān)業(yè)水平。未來(lái)將為我國(guó)新一代運(yùn)載火箭的研制作出重要貢獻(xiàn)。