熱式氣體質量流量計是利用熱傳導原理測量氣體質量流量的儀表。該儀表的傳感器由兩個基準級熱電阻(鉑RTD)組成。一個是質量速度傳感器T1，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個恒定的溫度，另一個傳感器T2用于感應被測氣體溫度。隨著氣體質量流速的增加，氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降，要維持T1、T2恒定的溫度差，T1的加熱功率就要增大。根據熱效應的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（T1-T2）與質量流量Q有確定的數學關系式。
P/△T=K1+K2 f(Q)K3
K1、K2、K3是與氣體物理性質有關的常數。
熱式氣體質量流量計由一體式流量轉換器、流量傳感器組成。
典型應用包括：
●氧氣、氮氣、氫氣、氯氣、煙道氣、高爐煤氣、焦爐煤氣及多組分氣體測量
●水處理中的曝氣和氯氣測量
●石化行業的沼氣、天然氣、液化氣、火炬氣
●電廠鍋爐的一次風、二次風
●礦井下通風或排風系統

特點：
●測量氣體質量流量，無需溫度、壓力補償
●量程比大，測量流速范圍：0.1Nm/s～100Nm/s
●無壓力損失，適用已知截面積的任意形狀管道
●耐腐蝕型傳感器，適合測量腐蝕性氣體
●插入式傳感器可以在線安裝和維護
●全量程段的專家算法，保證了測量的準確度。適于貿易結算或氣體檢漏