商品詳情

低成本模擬量熱式質(zhì)量流量控制器 SEC-E系列

型號(hào)：SEC-E40、SEC-E50

日本horiba堀場(chǎng)/厚禮博品牌的SEC-E系列屬于低成本、模擬輸出型，現(xiàn)貨供應(yīng)。

概要

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行**計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

特征

適用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標(biāo)準(zhǔn)）
被廣泛的使用于的制造業(yè)，從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè)。

規(guī)格

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)	質(zhì)量流量控制器)	SEC-E40MK3	SEC-E50MK3
	質(zhì)量流量計(jì))	SEF-E40(不帶控制）	SEF-E50（不帶控制）
適用氣體種類*1		非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號(hào)		非通電時(shí)　關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		2?99% F.S.
流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)		0?99% F.S.
響應(yīng)速度		1秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.
直線性		±0.5% F.S.
反復(fù)性		±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)		10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度		5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號(hào)		0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S.
流量輸出信號(hào)		0?5VDC(*小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2		1/4SWL 類型