武漢真空探針臺結構組成：

通常有全封閉真空腔體，這是其關鍵特征，用于營造真空環境。

配備探針系統，包括各種類型的探針（如直流探針、射頻探針等），用于與被測器件接觸實現電連接。

具有精密的定位與對準系統，可在真空環境下精確控制探針位置，對準被測點，常見的有手動或自動控制方式的定位機構。

有載物臺用于放置被測樣品，部分載物臺可能還具備加熱、制冷等功能。

以及電氣連接與測量系統，連接外部測試儀器以獲取被測器件的電性能參數，還有控制系統來操作整個設備運行等。

武漢真空探針臺功能特點：

真空環境優勢：全封閉真空腔體設計，能消除空氣放電干擾，有利于進行低電流（如 fA 級）測試，避免空氣中的雜質、水汽等對測試產生影響，同時也可防止某些樣品在測試過程中被氧化等。

精確定位：具備一定的定位精度，可使探針準確接觸樣品測試點，滿足不同測試需求。

兼容性：可兼容多種類型的探針和測試儀器，能進行多種電性能參數的測試，部分還可擴展其他功能，如與高低溫模塊結合實現高低溫真空測試等。

應用場景：

半導體領域：廣泛應用于半導體的研發與生產過程，如 IC 設計、制造、測試、封裝等環節，可測試芯片等半導體器件在真空環境下的電性能。

其他領域：還應用于微電子、電子、機電、物理、化學、材料、光電、納米、微機電 / MEMS、生物芯片、航空航天等領域的科學研究和相關生

產制造測試，例如在光電領域可測試光電器件在真空環境下的性能等。