一、武漢微型盒式真空高低溫探針臺核心功能與結構特點

真空環境控制

通過機械泵與分子泵組合，實現高真空度（<5×10?3Pa），有效抑制氧化、熱噪聲及空氣干擾，確保測試數據準確性。

適用于易氧化材料（如鈣鈦礦薄膜）或高頻器件（如5G PA芯片）的測試。

高低溫循環能力

溫度范圍：支持-196℃（液氮制冷）至+400℃（電阻加熱），滿足硅光子芯片、超導材料等在不同溫區的性能測試需求。

變溫速率：高溫區升溫速率達100℃/min，低溫區降溫速率7℃/min，可模擬芯片在實際工作環境中的快速溫度變化。

微型化與模塊化設計

緊湊結構：腔體內尺寸127mm×57mm×20mm，重量約1.5kg（不銹鋼材質），適配實驗室桌面空間。

分體式探針模塊：探針部分可獨立拆卸，支持輻照實驗或三溫測試（常溫/高溫/低溫）。

二、武漢微型盒式真空高低溫探針臺關鍵技術參數

參數指標

真空度機械泵：≤5Pa（5分鐘）；分子泵：≤5×10?3Pa（30分鐘）

溫度范圍-196℃至+400℃

溫度控制精度±0.5℃

探針移動精度X/Y軸：±5μm；Z軸：≤50μm（手動螺紋調節）

探針數量4探針（可擴展至5探針）

探針材質與尺寸鍍金鎢針，直徑10μm

信號接口BNC/三同軸/SMA接頭，支持IV/CV/RF測試

屏蔽性能配合鋁制屏蔽盒，抗干擾能力提升

三、典型應用場景

半導體器件測試

射頻芯片：在67GHz頻段下測試功率放大器（PA）的S參數與輸出功率，評估其在高溫/低溫環境下的可靠性。

功率半導體：測試SiC MOSFET在10kV高壓、300℃高溫下的動態導通電阻與雪崩能量。

材料科學研究

超導材料：在4K至室溫范圍內測量超導轉變溫度（Tc）與臨界電流密度（Jc）。

二維材料：評估石墨烯、MoS?等材料在真空環境下的載流子遷移率與光電響應。

失效分析與可靠性驗證

量子芯片：在10mK極低溫下測試量子比特的相干時間（T1/T2）與門操作保真度。

汽車電子：模擬-40℃至150℃全溫區環境，驗證AEC-Q100 Grade 0芯片的ESD耐受性與TDDB擊穿特性。