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晶圓槽式清洗機 芯矽科技

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10000

≥1臺

具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地蘇州市
  • 更新時間2025-05-29
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區蘇州市
  • 產品數量11
  • 人氣值85
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 蘇州芯矽電子科技有限公司是一家專業半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據行業主導地位,已經成功取得長江存儲 ,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供設備解決方案。

 

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晶圓槽式清洗機是半導體制造中用于批量清洗晶圓的濕法設備,通過化學溶液與物理作用結合,高效去除表面顆粒、氧化物及金屬污染。核心工藝包括多腔室模塊化設計,兼容8-12英寸晶圓,單次處理量可達數十片,顯著提升產能。
晶圓槽式清洗機 芯矽科技 產品詳情

1. 是什么?

晶圓槽式清洗機是半導體工廠中用于批量清洗硅晶圓的設備,通過化學藥水和物理手段(如超聲波、噴淋)結合,去除晶圓表面的雜質,確保芯片制造的潔凈度。它像一臺“洗碗機”,但處理的是納米級污染物,直接影響芯片良率。

2. 為什么需要它?

污染無處遁形:芯片制造中,光刻膠殘留、金屬顆粒、氧化物等會嚴重影響電路性能,清洗不干凈可能導致短路或良率下降。

批量高效:一次可清洗多片晶圓(如25片8英寸晶圓),比單片清洗機更快,適合大規模生產。

工藝必要:在光刻、蝕刻、沉積等步驟后,必須清洗晶圓表面,為下一制程做準備。

3. 核心工作原理

化學腐蝕:

使用酸性或堿性溶液(如HF、HNO?、NH?OH),溶解氧化層、金屬污染或顆粒。

例如:用HF腐蝕二氧化硅(SiO?),去除柵極殘留物。

物理清洗:

超聲波空化:高頻振動產生微小氣泡,爆破時沖擊晶圓表面,震落頑固顆粒。

高壓噴淋:高速藥液噴射沖刷晶圓,類似“高壓水槍”清理污漬。

機械刷洗:部分設備用軟毛刷輕掃表面,但需避免劃傷晶圓(現代設備多用無接觸技術)。

4. 設備結構與流程

多腔室設計:

預處理槽:初步去除大顆粒或有機物(如用DIW純水沖洗)。

主清洗槽:注入化學藥水(如RCA清洗液),配合超聲波或噴淋,深度清潔。

漂洗槽:用純水(DIW)沖掉殘留藥液,防止化學污染。

干燥腔:熱氮氣(N?)吹掃或IPA(異丙醇)蒸干,確保晶圓無水漬。

自動化控制:

PLC系統監控藥液濃度、溫度(±0.5℃)、噴淋壓力等參數。

機械臂自動傳遞晶圓,避免人工接觸污染。

5. 關鍵技術亮點

均勻性保障:

通過流體仿真(CFD)優化藥液噴淋路徑,確保每片晶圓腐蝕均勻(差異<±1.5%)。

溫度和藥液濃度實時調節,避免局部過蝕或清洗不足。

環保設計:

廢液回收系統:90%以上化學液通過蒸餾再生,降低耗材成本。

閉環氣體管理:氮氣循環使用,減少排放。

適配制程:

支持8-12英寸晶圓,兼容深孔、高深寬比結構(如3D NAND閃存)。

可處理微小顆粒(<0.1微米),滿足5nm以下芯片需求。

6. 應用場景

光刻后清洗:去除殘留光刻膠,防止掩膜版污染。

蝕刻后清洗:清除反應產物(如聚合物),避免影響下一制程。

CMP(化學機械拋光)后清洗:去除拋光液殘留,防止劃傷。

外延生長前準備:清潔硅片表面,確保外延層均勻生長。

關鍵詞:清洗機
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