詳細技術參數
TL1200PECVD
| TL1200 管式爐
| 型號 | TL1200PECVD | ||
| 功率 | 9KW（爐子5+預加熱爐2.6+抽氣系統0.75+射頻電源0.5） | |||
| 爐管尺寸 | 石英管:150*1700mm(管徑可選） 兩邊各放置一個爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
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| 外形尺寸 （LXDXH） | 2200×650×1400 | |||
| 電源電壓 | 220V | |||
| 相數 | 單相 | |||
| 加熱元件 | 國產優質電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進口電阻絲） 點擊進入資料下載 | |||
| 控制方式
| 采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進口儀表，需要另外付費，選購）
FP93控溫儀表 歐陸儀表 觸摸屏儀表 （日本島電） | |||
| 控溫模式 | 智能PID | |||
| 斷偶保護和顯示 | 有 | |||
| 過溫保護 | 有 | |||
| 過流保護 | 有 | |||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | |||
| 觸發器 | 移相觸發 | |||
| 電器 | 浙江正泰 | |||
| 可控硅 | 106/16E 德國西門康 | |||
| 溫度 | 1200 ℃ | |||
| 額定溫度 | 1100 ℃ | |||
| 升溫速率 | ≤20 ℃/ Min （可根據要求修改） | |||
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/ Min | |||
| 熱電偶型號 | K 型 | |||
| 加熱段長度 | 440mm（預加熱爐205mm） | |||
| 溫度校準（選配） | 定期對管式爐進行溫度校準，可保持爐溫的準確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準工具，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括標準熱電偶，溫度校準儀，補償導線 | |||
| 電器認證 |
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| 四周表面溫度 | ≤45℃ | |||
| 閥門和法蘭
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| 射頻電源 （等離子體發生器）
| 功率輸出范圍 | 0-500W | ||
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| 反射功率 | 200W | ||
| 工作頻率 | 射頻：13.56MHZ±0.005% | |||
| 功率穩定度 | +/-0.1% | |||
| 諧波分量 | ≤-50dbc | |||
| 射頻區域寬度 | 0-600mm 可調 | |||
| 匹配方式 | 自動 | |||
| 冷卻方式 | 分冷 | |||
| 噪聲 | <50dB | |||
| 射頻接口 | 50Ω N-type | |||
| 輸入電源 | 208-240V 50/60HZ | |||
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GX供氣系統主要參數
| 質量流量計
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） | |
| 耐壓 | 3MP | |||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | |||
| 工作（使用）壓力 | 0.3MPa | |||
| 線性 | ±0.5%F.S. | |||
| 重復精度 | ±0.2% F.S | |||
| 路數 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | |||
| 接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | |||
| 系統工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | |||
| 工作溫度 | 5-45℃ | |||
| 壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |||
| 靜態混氣室 | Dia50 X 400MM | |||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | |||
| VS-0.1抽氣系統
方案一或方案二任選一個
| 電源 | 220V | ||
| 尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||
| 波紋管 | KF25X1000mm | |||
| 用該系統抽爐管真空度可達 | 10 -1Pa | |||
| 真空擋板閥 | KF25 | |||
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VRD-8真空泵 方案一 | 型號 | VRD-8 | ||
| 極限分壓強 | 5X10-2 Pa | |||
| 進排氣接口 | KF25 | |||
| 電機轉速 | 1440RPM | |||
| 抽氣速率 | 2.2L/S | |||
| 電機功率 | 0.4KW | |||
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Preiffer ACP15 無油多級羅茨泵 方案二 | 型號 | ACP15 | ||
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | |||
| 功率 | 450W | |||
| 重量 | 25KG | |||
| 氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | |||
| 極限壓強 | 0.02Torr | |||
| 進、排氣接口 | KF25 | |||
| 電阻真空計 （方案一） | 型號 | ZDR-1 | ||
| 功率 | 25W | |||
| 真空度測量范圍 | 0.1-10 5 Pa | |||
| 電阻硅 | ZJ-52T | |||
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瑞典（INFICON） 皮拉尼陶瓷電容真空計 （方案二）
| 型號 | PCG554 | ||
| 輸入電壓 | 24V 1A DC（配有220V變壓器） | |||
| 真空計接口 | KF16 | |||
| 數字顯示 | 數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr | |||
| 產品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |||
| 重量 | 5 lbs | |||
| 檢測氣體 | 可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。 | |||
| 是否防腐 | 防腐 | |||
| 響應時間 | ≤30ms | |||
| 測量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | |||
| 分子泵機組（選購）
（方案一或方案二任選一個） | 機組輸入電壓 | 380V /220V | ||
| 波紋管 | KF40X1000 | |||
| 真空擋板閥 | KF40 | |||
| 機箱尺寸 | 600X600X600 | |||
| 分子泵 （方案一）
| 分子泵型號 | FJ620 | ||
| 輸入電壓 | 380V | |||
| 分子泵進氣口法蘭 | DN160 | |||
| 分子泵抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | |||
| 分子泵極限壓強（Pa) | 6×10-7 | |||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | |||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | |||
| 環境溫度 | 0~40℃ | |||
| 建議啟東壓強 | <100pa | |||
| 分子泵前級真空泵TRP-24 (FJ620分子泵必須要配此前級泵) （方案二）
| 功率 | 0.75KW | ||
| 電壓 | 380V | |||
| 轉速 | 1450rpm | |||
| 進氣口徑 | KF25/KF40 | |||
| 前機泵抽氣速率（L/S） | 6 | |||
| 極限壓強 | 4X10 -2Pa | |||
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德國Pfeiffer真空泵 （方案二）
| 電壓 | 220V | ||
| 功率 | 110W | |||
| 抽氣接口 | KF40 | |||
| 重量 | 150KG | |||
| 前機泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||
| 抽氣速率（N2） | 33L/S | |||
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復合真空計
| 復合真空計型號 | ZDF | ||
| 電源 | 220V 55W | |||
| 控制精度 | ± 1% | |||
| 真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | |||
質保期
一年保修，終身技術支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
注意事項
1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當使用的爐管為剛玉管時，爐體溫度高于1500℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當
4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
TL1200 PECVD系統，由真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。
主要特點：
1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。
2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。
4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。
5、廣泛應用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
這款TL1200 PECVD系統以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用成型的氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能、等優點。
1、 電阻絲
電阻絲 原絲 電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、電阻均衡、溫場均衡性好
電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關和漏電保護器：
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本成熟的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認證電氣板 （全部通過UL認證的進口電器）
6、認證
7、法蘭
鉸鏈式法蘭（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
TL1200-1200-1200三溫區PECVD系統標配
| 描敘 | 數量 | 圖片 |
| TL1200管式爐 | 1 套 |
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| 石英管 | 1根 |
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| 不銹鋼法蘭 | 1 套 | |
| 不銹鋼爐鉤 | 1 個 |
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| 氧化鋁爐塞 | 1對 |
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| 高溫手套 | 1 雙 |
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| 氧化鋁坩堝 | 1個 |
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| Ｋ型熱電偶 | 3個 |  |
| 485轉換接口和軟件（選配） | 1 套 |
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| 說明書 | 1本 | |
| 法蘭支撐架 | 1 份 | |
| 供氣系統 | 1臺 |  |
| VS-0.1抽氣系統 | 1臺 |  |
| 射頻電源 | 1臺 | |
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數） | N個 |  |
| 閥門接頭 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數) | NX5 |  |
