高速高精度真空納米定位平臺采用了陶瓷伺服電機驅動，非常適合要求精度達到納米或壓納米的高精度和高重復精度的應用，例如：精密生命科學儀器、顯微成像、納米準直、微納加工、光學精確定位等。
高速高精度真空納米定位平臺應用
光電對準
光電封裝
納米加工
光學測量
納米自動化
特色
10nm分辨率非接觸線性編碼系統
雙驅動任選:線性伺服或壓電驅動
高密度滾珠傳導增加穩定性
超緊湊的單軸或雙軸納米位移臺
緊湊型封裝
可真空使用
*工作能力，大吞吐量
技術參數
行程(mm): 25和50mm(單軸或雙軸)
驅動系統: 無鐵芯直線電機或陶瓷伺服電機
大加速度: 由負載決定
大速度: 200mm/s (無負載時)
大推力: 24N
大負載: 2Kg
精度: +/-1um/25mm
TTL分辨率: 1-100nm/脈沖
構造材料: 鋁合金主體, 灰色氧化鍍膜
重復精度: 5倍精度
上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發區，是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發，并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。
上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統等系列產品。
