超精密壓電納米定位臺是一種機械裝置，內部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產生單軸或者多軸的運動。三英設計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內置高精密傳感器，閉環控制時，三英的傳感器技術在保證線性度的前提下，可以實現納米級別、亞納米級別的分辨率。
超精密壓電納米定位臺應用領域
◆顯微鏡；
◆波束控制；
◆自定義閉環系統；
特點：
從1軸到6軸運動
業界的并聯運動和并聯測量技術
保持記錄的高精度與重復精度
可選電容傳感器zui高可達0.02nm閉環分辨率
定制型號可選擇銦鋼、鈦等不同材料
技術參數：
型號 | NS-XY100Z20-01 | |
運動軸 | X/Y/Z | |
傳感器類型 | 電容式 | |
閉環行程 | 100/100/20μm | |
閉環分辨率 | 0.5/0.5/0.1nm | |
線性度 | 0.02/0.02/0.08% | |
無載諧振頻率 | 350/350/1600Hz | |
驅動電壓 | -30～+150V | |
電纜長度 | 2m | |
連接器類型 | D-sub15 | |
位移臺材料 | 鋁合金 | |
zui大負載 | 1kg | |
體積 | 100 x 100 x 35mm | |
上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發區，是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發，并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著“創新，立足，精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標，力求*國內技術空白，打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面，為中國智能裝備產業和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎。
