1~3維精密微動壓電平臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,采用SGS傳感器閉環(huán),實現(xiàn)精密高速定位運動,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成,采用分離式結(jié)構(gòu)設(shè)計,減小了兩自由度之間的耦合,采用高可靠性的壓電陶瓷驅(qū)動,具有較高的重復(fù)定位精度和納米級位移分辨率,機體材料分鋁合金,嚴格保證構(gòu)結(jié)精度;采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu);采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。
1~3維精密微動壓電平臺典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 納米定位
• 生物技術(shù) • 半導(dǎo)體技術(shù)
• 質(zhì)量保證測試 • 微車削
• 原子力顯微鏡
■ 產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝,嚴格保證構(gòu)結(jié)精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu);
5.采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力;
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺。
型號說明:
產(chǎn)品型號 | PK3L60-080U | PK3L60-080U-S | 公差 | |
運動自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | |
標稱行程范圍(@0~+120V) | 80 μm/軸 | 80 μm/軸 | ±20% | |
行程范圍(@-20~+150V) | 100 μm/軸 | 100 μm/軸 | ±20% | |
分辨率 | 5 nm | 7 nm | typ. | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
線性度 | - | 0.15% F.S. | typ. | |
承載能力 | 6 N | 6 N | Max. | |
剛度 | 0.8 N/μm | 0.8 N/μm | ±20% | |
諧振頻率 | 0g | (X)210 Hz、(Y)210 Hz、 (Z)190 Hz | (X)210 Hz、(Y)210 Hz、 (Z)190 Hz | ±20% |
靜電容量 | 1.6 μF/軸 | 1.6 μF/軸 | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驅(qū)動電壓范圍(*)1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | |
重量 | 180 g | 180 g | ±5% | |
本體材質(zhì)2 | 鋁(B)、鋼 | 鋁(B)、鋼 |