上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著“創(chuàng)新，立足，精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標，力求*國內技術空白，打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面，為中國智能裝備產業(yè)和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎
高精度壓電物鏡掃描臺采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導向使物鏡掃描臺具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺硅傳感器使平移臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺的精度可以達到亞納米，底噪低至10pm。
高精度壓電物鏡掃描臺主要應用
l 自動聚焦系統(tǒng)
l 共焦顯微鏡
l 3D成像
l 超分辨顯微鏡
l 半導體計量學
產品特點
l 高分辨率（0.01nm）
l 高速度，自振頻率可達1175Hz
l 采用硅傳感技術
l 超低底噪
l 柔性鉸鏈導向
技術參數(shù)：
| 型號 | PMS |
| 尺寸大小/mm | 295(長)*260(寬)*32.5(高) |
| 電機類型 | 直流電機 |
| zui高精度/μm | 0.1 |
| 重復定位精度/μm | 1 |
| zui大速度/mm/s | 1000 |
| zui大加速度/m/s^2 | 1(低速下可達100) |
| zui大負載/kg | 5 |
| zui大行程/mm | 150(X)100(Y) |
