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儀表網(wǎng)>全部分類 >測量/計量 >表面測量儀器 >臺階儀 返回產(chǎn)品中心
臺階儀

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號

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  • 納米級表面形貌臺階儀

    ?中圖儀器納米級表面形貌臺階儀單拱龍門式設計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。
  • 精密接觸式臺階儀

    NS系列精密接觸式臺階儀是一款為高精度微觀形貌測量設計的超精密接觸式儀器,通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
  • 納米級臺階儀

    NS系列納米級臺階儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
  • 接觸式表面形貌臺階儀

    NS系列接觸式表面形貌臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。單拱龍門式設計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
  • 高精度探針接觸式臺階儀

    NS系列高精度探針接觸式臺階儀單拱龍門式設計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
  • 探針式薄膜厚度臺階儀

    NS系列探針式薄膜厚度臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
  • 高精度探針式臺階儀

    NS系列高精度探針式臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。單拱龍門式設計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
  • 探針式接觸臺階高度儀

    NS系列探針式接觸臺階高度儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
  • 國產(chǎn)高精度臺階儀

    NS系列國產(chǎn)高精度臺階儀采用了磁吸式測針,當需要執(zhí)行換針操作時,可現(xiàn)場快速更換掃描測針,并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。
  • 中圖儀器國產(chǎn)臺階儀

    中圖儀器國產(chǎn)臺階儀NS系列是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
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