氣體質(zhì)量流量計(jì)既可進(jìn)行氣體流量計(jì)量工作，也可用于過程控制領(lǐng)域。它引進(jìn)美國先進(jìn)技術(shù)生產(chǎn)，無須溫壓補(bǔ)償，直接測出流體的質(zhì)量流量。工作原理氣體流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。

 

　　小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)是自主研制的MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。

 

　　當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí)，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時(shí)，氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。

 

　　微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，由一個(gè)專門的電路變送器對(duì)此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同，因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。

 

　　質(zhì)量流量計(jì)通常分為氣體質(zhì)量流量計(jì)、差壓式質(zhì)量流量計(jì)和科里奧利質(zhì)量流量計(jì)。

 

　　簡單來說，氣體質(zhì)量流量計(jì)通常測量旁路毛細(xì)管內(nèi)通過氣體的前后熱量變化來測量質(zhì)量流量；壓差式質(zhì)量流量計(jì)通過測量做層流運(yùn)動(dòng)的氣體的兩點(diǎn)之間的壓力差來計(jì)算流量；科里奧利質(zhì)量流量計(jì)則是通過測量兩個(gè)并排U形管振動(dòng)前后的差異來測量氣體的質(zhì)量流量。