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分析壓力傳感器的分類及特點

2022-01-25標簽:壓力傳感器

  單晶式壓力傳感器就是那些集壓力感測與轉換作用于單一組件上的壓力傳感器。壓力-移動量-電壓之間的轉換是以下列方法中之一種來完成:
 
  (a)電容式壓力傳感器:待測壓力使得陶瓷膜片彎曲情形,如此就能改變組件的電容量,借著加入必須的電子電路,盡可能將此變形與壓力之變化互成關系。因此電容量的變化即比例于壓力的變化。(b)壓阻式或“厚膜”壓力傳感器:這種轉換器的動作原理乃應用壓阻效應,此當材料受到變形時,它的電阻會隨著改變。使用厚膜技術將四個電阻連接成惠斯登電橋的型式,安置于氧化鋁(Al2O3)膜片上。當待測壓力促使膜片變形時,電橋的差電壓輸出是隨著改變。
 
  (c)半導體壓力傳感器:此種裝置也是應用壓電效應與電橋電阻形式獲得量測結果,在硅支撐物上利用擴散的方法,用以產生膜片,包含電橋電阻的單元以靜電處理固定在支撐玻璃上。所以,它就與外界形成機械性的隔離。
 
  當硅質膜片偏向時,電橋的輸出就隨著改變。(d)壓電式壓力傳感器:這種轉換器的動作原理乃應用壓電效應,此指當許料受到壓迫(力或壓力)時會產生電壓的性質。這些性質被用來做高頻時的壓力測量以及聲音位準的測量(在此種應用上,最有名的為“晶體式麥克風”)。
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