簡介壓力傳感器的功能裝置
2022-01-25標簽:壓力傳感器
在壓力傳感器中,通常是使用膜片(或是波狀薄膜)來將壓力P(t)轉換成機械的移動量X(t)。膜片(如圖)
壓力傳感器是由一金屬(或是橡皮)盤所組成,在將金屬盤的邊緣固定到堅固的支撐物上。圓形的波狀都與膜片的外部邊緣成同心圓。被壓縮的液體接觸到膜片的一端,使得膜面以比例于其內壓力的彎曲變形。兩個波狀的金屬膜片結合在一起,形成一個空氣囊(如圖)。
假如空氣囊內部的空腔包含有真空,即可用以測量絕對壓力;很明顯地,待測壓力是加至此組件的兩端。如果需用更大的彎曲變形,可以將更多的膜片組件串聯使用。為了測量介于兩個可變壓力間之差值,必須將其中的一個壓力加到空氣囊的內部。其它用以轉換壓力成移動量的機械是風箱(bellow)與布爾弟(Bourdontube)。近年來,隨著單晶式壓力傳感器的發展,可以同時完成轉換功能及壓力傳感器功能裝置已被引進,這些是:
1.電容式氣囊
電容式氣囊:包含兩個用以支撐電容極片的陶瓷組件,并接合在一起以形成一空腔,而產生真空。
壓力傳感器的工作原理,壓力傳感器介紹
2.氧化鋁膜片(用于壓電轉換器)
氧化鋁膜片(用于壓電轉換器)”在壓電性材料中支撐四個橋式連接的電阻。
壓力傳感器的工作原理,壓力傳感器介紹
3.半導體膜片(壓力傳感器)
半導體膜片:由硅單元所組成(半導體轉換器),在其上利用擴散方法以形成電阻。
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