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石英晶體膜厚控制儀知識(shí)小結(jié)

來(lái)源:深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司   2013年07月29日 10:23  
石英晶體膜厚控制儀的特點(diǎn):
1、標(biāo)準(zhǔn)RS-232和USB(有以太網(wǎng)選件)。

2、貯存容量高至100個(gè)工藝過(guò)程,1,000個(gè)膜層,50個(gè)膜系。

3、用單傳感器或多傳感器監(jiān)測(cè)源材料,提供的源分布監(jiān)測(cè)。

4、高亮度,VGA活性點(diǎn)陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中文。

5、易設(shè)置和操作,有“快速設(shè)置”菜單,6個(gè)上下文-敏感的按鈕,和方便的參數(shù)設(shè)定旋鈕。

6、Window程序用于開(kāi)發(fā),測(cè)試,和下載工藝過(guò)程,和將儀器數(shù)據(jù)記錄至您的PC上,用于過(guò)程分析與質(zhì)量控制。

7、的過(guò)程控制,尤其用于低淀積率,在10讀值/秒時(shí)的分辨率為±0.03Hz,在0至50°C溫度范圍內(nèi)的頻率穩(wěn)定性為±2ppm。

石英晶體膜厚控制儀具有電子學(xué),具有的過(guò)程控制,尤其用于低淀積率。石英晶體膜厚控制儀適用于控制多源、多坩堝、多材料或多過(guò)程系統(tǒng)的膜層沉積速率和膜厚。石英晶體膜厚控制儀可滿足即使zui復(fù)雜、zui高要求與特殊應(yīng)用的需要。它擅長(zhǎng)于過(guò)程控制、邏輯功能、程序和膜層儲(chǔ)存容量、過(guò)程數(shù)據(jù)管理,尤其是沉積速率與膜厚的控制。

石英晶體膜厚控制儀具有寬廣的功能,它可啟動(dòng)抽空過(guò)程、控制閥門、啟用基片加熱器等。這些增強(qiáng)的功能使系統(tǒng)無(wú)需配備輔助儀器,從而降低系統(tǒng)的復(fù)雜性和成本。石英晶體膜厚控制儀的邏輯與控制功能包含100個(gè)可編程的邏輯狀態(tài);I/O和TTL繼電器電路板提供多至24個(gè)繼電器輸出,28個(gè)TTL輸入,14個(gè)TTL輸出,20個(gè)計(jì)數(shù)和20個(gè)計(jì)時(shí)。邏輯狀態(tài)可與外輸入或輸出聯(lián)用。每個(gè)狀態(tài)可包含多至5個(gè)功能,并用布爾邏輯鏈接。石英晶體膜厚控制儀可為源控制或圖形記錄儀輸出提供6個(gè)可賦值的模擬輸出、沉積速率、膜厚或沉積速率的偏離。

石英晶體膜厚控制儀控制兩種材料的同時(shí)鍍膜。它包含一個(gè)編程的比值參數(shù),在變化的沉積速率中控制合金的比率,還有一個(gè)交叉靈敏度(或串適)參數(shù),自動(dòng)補(bǔ)償來(lái)自一個(gè)源的材料鍍覆至用于控制另一個(gè)源的傳感件上。Auto Z功能還對(duì)石英晶體膜厚控制儀的共沉積有貢獻(xiàn),當(dāng)不同材料混合在一個(gè)晶體上時(shí)保持膜厚的精度。

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