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終端處理主要根據(jù)客戶的特殊要求生產(chǎn)出超低有機(jī)型、無菌型、無熱源型等的超純水。針對(duì)不同要求有多種處理方式,如超濾過濾法用于去除熱源,雙波長紫外氧化法用于降低水中總有機(jī)碳(TOC),微濾去除細(xì)菌等。超濾(UF)薄膜則是一個(gè)分子篩,它以尺寸為基準(zhǔn),讓溶液通過極細(xì)微的濾膜,以達(dá)到分離溶液中不同大小分子的目的,可將超純水中的熱源含量降至0.001EU/ml以下。雙波長紫外氧化法可利用光氧化有機(jī)化合物,將超純水中的總有機(jī)碳濃度降低至5ppb以下。
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