金屬切削加工過程非常復雜，加工后形成的表面粗糙度與工件的材料、刀具的幾何形狀、潤滑方法以及選用的切削深度密切相關，表面粗糙度儀可以用來測量加工后形成的表面粗糙度。剪切、滑移和斷裂被認為是影響切屑形成的幾個主要因素。超精密切削時只要有切屑產生，就可以把該過程模型化為材料沿著與水平面傾斜一定角度的平面被刀具剪切的過程，在已加工表面上形成的峰、谷高度隨刀具刃口鋒銳輪廓的變化而變化。

最小切削厚度的存在使小于一定切削深度的工件材料不能被切除。通常大于進給量的一半，所以不完整切屑的形成只能使表面粗糙度的值增加。對已加工表面粗糙度進行測量時我們往往會發現一種奇怪的現象，表面粗糙度的測量值有時很小，什么原因造成的呢?我們可用材料變形的觀點對這個問題作出合理解釋。

超精密切削的主要目的是要切下一層極薄的金屬層，與普通切削相比，刀具前刀面參與切削部分面積減小，而刀刃附近區域卻要承擔大部分的切削工作，這對所選擇的刀具材料提出了更高的要求。另外，背吃刀量從幾微米減小到一微米以下時，車刀的會受到很大的應力作用，從而在單位面積上會產生很大的熱量，使刀具局部區域達到的溫度。

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