在影像測量儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量，測量時先對焦，后對準，再讀數（計數），最后計算處理。讀數來自于標尺即光柵系統，對焦對準依靠顯微鏡光學系統，還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源，因為，基于影像方法測量的儀器，如果被測件不能被有效正確的照明，則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外，環境條件也是制約測量精度不可忽視的因素。基于上述分析，可以歸納出以下幾個方面的誤差來源：

在影像測量儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量，測量時先對焦，后對準，再讀數（計數），最后計算處理。讀數來自于標尺即光柵系統，對焦對準依靠顯微鏡光學系統，還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源，因為，基于影像方法測量的儀器，如果被測件不能被有效正確的照明，則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外，環境條件也是制約測量精度不可忽視的因素。基于上述分析，可以歸納出以下幾個方面的誤差來源：

（1）光柵計數尺的誤差；

（2）工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差；

（3）工作臺兩測量軸垂直度帶來的誤差；

（4）顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶來的誤差；

（5）測量室溫度偏離20℃參考溫度帶來的誤差；

（6）光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差。