1、sf6氣體抽真空裝置及周圍環境應經常保持清潔。
　　2、sf6氣體抽真空裝置由多種機器和儀表等組成，在運輸過程中應避免顛簸、碰撞和傾斜，以保證裝置的可靠使用。
　　3、出廠前做過密封性試驗，由于各種因素，在運行相當時間后，請定期做密封性檢查。
　　4、真空泵每次開機檢查油位，油位應在油標2/3范圍內。真空泵定期檢修;第一次使用500小時后可檢修排氣閥。以后使用2000小時進行泵檢修。真空泵需及時換油，越是及時頻繁更換新油。真空泵的使用壽命越長，能達到的極限真空也越高。
　　真空泵若出現異常排氣聲及油面波動時，應及時檢查排氣閥片是否松脫、老化或損壞，閥座墊片密封是否完好，并清除油箱內的雜物、污油和沉淀物，以免大量進油造成附加壓力，引起轉子、旋片和泵體的損壞。
　　5、sf6氣體抽真空裝置SF6壓縮機
　　開機前和運行中應檢查油位，運行時右面高度在油面計的1/2處的上端，不得低于油面計“低位線”。若油面下降，應適當加油。
　　壓縮機工作6000小時，須進行大修。
　　6、SF6氣體回收裝置制冷機組壓縮機的維護保養同上經常檢查壓力表，高低壓力是否在規定范圍內。注意各連接部位是否有泄漏和滲油現象，滲油的部位往往是泄漏部位，發生上述現象，請及時停機檢查處理。交接規程的一般規定和要求：發電機：對于水內冷電機時，應要求水質合格，電導率小于1.5μs/cm；充氫前進行，耐壓前的條件，一般是絕緣1000MΩ以上，吸收比合格，尤其是大容量的，應達1.6左右，水質電阻應達30KΩ，要求各匯水管測點連在一起，如600MW機組（哈爾濱）1-90測溫端子，74、75、76匯水管端子等；但對于匯水管死接地的發電機，交流耐壓前的絕緣根據廠家的規定，一般有2~3MΩ就差不多了。交流電動機：6KV電機的Us為10KV，10KV電機的Us為16KV，大容量電機一般應分相進行，中性點不引出時可三相一同進行。變壓器：應盡量利用規程的條款規定，8000KVA以下，Ue在110KV以下的應進行交流耐壓試驗，如6KV的所有干式變和油浸變等，應三相短接，非被試側也應三相短接接地，否則會有容升現象。8000KVA及以上，Ue在110KV以上，在有試驗設備時，應進行耐壓試驗，我們應靈活與監理、質檢部門溝通。