質量流量計與傳統熱式質量流量計的測量原理類似，流體的質量流量與流過傳感器所帶走的熱量相對應。在流量芯片上，1個微熱源的上、下游各對稱地設置1個溫度傳感器，還設置了1個環境溫度傳感器，用來調節環境溫度變化對微熱源的影響。

　　流體的質量流量，微熱源上、下游的溫度變化及微熱源的功率是芯片的主要參數。

　　傳感器所測量的流量為與溫度和壓力無關的質量流量。

　　盡管如此，控制電路的溫度補償是流量計溫度效應的主要來源。 
 

質量流量計的優點為： 

①量程比大，MF－FD系列氣體質量流量計的量程比達100∶1。 

②始動流量小。可有效解決機械式流量計的小流量漏計問題，減小燃氣公司的供銷差。 

③直接進行質量計量，不需溫度、壓力補償，減少計量損失。 

④壓力損失小，能保證系統節能運行。 

⑤重量輕。與容積式流量計相比，MEMS質量流量計的重量大大減輕。 

⑥無可動部件。 

⑦全電子智能功能。專門設計的電子控制部件能提供信號傳輸、事故報警、IC卡控制等功能；內置存儲器進行歷史數據記錄，為深入分析和管理用戶用氣創造了條件；網絡通信功能可輕松實現城市燃氣儀表的系統管理，為城市燃氣實現調峰、階梯收費等措施創造了條件。