氣體質量流量控制器（流量計）Mass gas flow controller（meter）縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。

S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)特點：

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON^®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行計量。

49 32/MT質量流量控制器(流量計)技術指標

入口和出口氣路接頭

可以根據用戶的不同需求，選用兩種類型：

1. 雙卡套（Swagelok）；a.Φ6mm; b.Φ3; c. 1/4″;d.或其他。

2. VCR. a. Φ1/4″;b. Φ3/8″

零點的調節

在使用的過程當中，有可能發生零點偏移，可進行零點偏移的調節。

零點的調節可以兩種方式進行調節：

a.在流量顯示儀儀表盤上的調零或其他外部調整機構進行調節，叫做外調零。

b. 一種可以從流量控制器上的調零孔進行調節，叫做內調零。

調零孔的位置在流量控制器上側面的小孔，內有調零電位器。

注意：

◆調零時，流量控制器中不得有氣流流動，應將閥控開關打在“關閉”位置；

◆調零必須在開機預熱15 分鐘以后進行，以待流量計零點的穩定；

◆除調零電位器外，不得輕易調整其它電位器。

 注意事項

工作介質

本產品切忌液體和油污，不能使用在液體介質中工作，只能使用在氣體工作介質中。

氣體必須是潔凈、干燥的，沒有微粒和潮氣。否則，須在氣路中加裝過濾器、干燥器等，使之符合要求。要注意保持控制器的氣路潔凈，一旦被污染，將嚴重影響產品的準確度。

耐壓和工作壓差

超出控制器指標指標規定的過高的壓力，會導致泄漏乃至爆裂的嚴重后果。

須保持控制器進出氣口兩端的工作壓差，保持在指標范圍之內，否則，可能會導致控制測量不準確，乃至失靈。在過高的氣壓差下，可能會導致實際氣流偏大或閥無法關閉。在過低的氣壓差下，可能會導致實際氣流偏小。

要注意管路和氣源內阻對工作壓差的影響，在使用大流量的質量流量控制器(流量計)尤其注意管路粗細是否合適以及保證氣源。

管路連接時，注意不要導致氣路污染及不通暢，連接應密實，無漏氣。