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KS-41B 液體粒子計數器從0.1μm測量SOG中的光致抗蝕劑溶液和顆粒，KS-41B 液體粒子計數器可連接多點監控系統。
| 光學系統類型 | 側散射法 |
|---|---|
| 光源 | 半導體激光泵浦固態激光器（波長532 nm，額定輸出500 mW） |
| 接液部件材料 | 合成石英，PFA |
| 粒度部分 | （從0.07微米任選地通訊，如果透明的液體，例如純水）在0.1微米的范圍內10個階段?0.5微米 工廠：0.1微米或更大，0.15微米或更大，0.2微米或更大，0.3微米或更大，0.5微米或更5個階段 |
| 額定流量 | 5毫升/分鐘 |
| 大粒子數濃度 | 9,600個細胞/ mL（計數損失在10％以內） |
| 電源 | DC12V（KE-40B1提供） |
| 大小 | 約164（H）×464（W）×305（D）mm（不包括突起） |
| 重量 | 大約12.5千克 |
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