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SMC壓力傳感器原理說明
壓力傳感器是工業實踐中為常用的一種傳感器，其廣泛應用于各種工業自控環境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業角度傳感器。
力敏傳感器是使用廣泛的一種傳感器，它是檢測氣體、液體、固體等所有物質間作用力能量的總稱，也包括測量高于大氣壓的壓力計以及測量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統的測量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，但它的體積大、笨重、輸出非線性壓力開關。
隨著微電子技術的發展，利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性，研制出半導體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優點，因此半導體力敏傳感器得到廣泛應用。當對一塊半導體在某一晶向上施加應力時，其電阻率會產生一定的變化。這種導體電阻率變化和應力之間的相互關系稱為半導體壓阻效應，利用此效應制成的力學量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器，它有兩種類型，一類是將半導體應變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器，稱為粘貼型壓阻式傳感器，另一類是在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻，使應變計與硅襯底形成同一整體的傳感器，稱為擴散型壓阻式壓力傳感器。
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