AALBORG數(shù)字質(zhì)量流量控制器DFC

AALBORG數(shù)字質(zhì)量流量控制器DFC，產(chǎn)品概要

具有數(shù)字信號處理功能的 DFC 可編程熱質(zhì)量流量控制器

設(shè)計特點

數(shù)字和模擬模式操作

可編程流量配置

可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 100 slpm

大壓力 1000 psig (70 bar)

多達 256 個單元的多點能力

存儲多達 10 種氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)

累加器顯示總氣體量

高低氣體流量報警限值

高達 256 種氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)

自動調(diào)整功能以獲得佳控制響應(yīng)

自我診斷測試

DFC 數(shù)字質(zhì)量流量控制器

微處理器驅(qū)動的數(shù)字流量控制器允許使用計算機通過 RS-485 接口（可選 RS-232）對各種氣體的流量進行編程、記錄和分析。

控制器可針對各種控制功能進行編程，包括流量設(shè)定點、累加器、停止累加器、讀取累加器、預(yù)設(shè)流量累加器、在預(yù)設(shè)總量處停止、自動歸零等。

操作原理

計量氣體分為兩條層流路徑，一條通過主流管道，另一條通過毛細管傳感器管。兩個流道都設(shè)計為確保層流，因此它們的流速比是恒定的。傳感器管上的兩個精密溫度傳感繞組被加熱，當(dāng)流動發(fā)生時，氣體將熱量從上游帶到下游繞組。產(chǎn)生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。

惠斯通電橋設(shè)計用于監(jiān)測傳感器繞組上與溫度相關(guān)的電阻梯度，該電阻梯度與瞬時流量成線性比例。惠斯通電橋的輸出通過 12 位 ADC（模數(shù)轉(zhuǎn)換器）轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式。

板載微處理器和非易失性存儲器存儲所有校準(zhǔn)因子并直接控制比例電磁閥。數(shù)字閉環(huán)控制系統(tǒng)不斷地將質(zhì)量流量輸出與選定的流量進行比較。與設(shè)定點的偏差通過補償閥門調(diào)整進行校正，使用 PID 算法，從而以高精度保持所需的流量參數(shù)。生成 0 至 5Vdc 或 4 至 20mA 的輸出信號，指示計量氣體的基于質(zhì)量分子的流速。

接口

數(shù)字接口通過 RS485（可選 RS232）運行，并提供對適用內(nèi)部數(shù)據(jù)的訪問，包括流量設(shè)定點、實際流量、零位調(diào)整和線性表調(diào)整。

模擬接口提供 0 至 5Vdc、0 至 10Vdc 和 4 至 20 mA 輸入和輸出。

自動歸零

當(dāng)流量設(shè)定點低于滿量程的 2% 時，DFC 會自動將傳感器零偏移歸零。為了適應(yīng)這一特點，控制閥必須在這種情況下關(guān)閉。規(guī)定通過數(shù)字命令禁用、強制或存儲當(dāng)前的自動歸零。

Totalizer

DFC 的固件提供了注冊總氣體量的功能。氣體的總質(zhì)量通過對時間的實際氣體流量進行積分來計算。

提供數(shù)字接口命令以：

將累加器設(shè)置為零

開始/停止累計流量

閱讀累加器

以預(yù)設(shè)流量啟動累加器

在預(yù)設(shè)總量處停止流動

多氣體校準(zhǔn)

DFC 能夠存儲多達 10 種氣體的主要校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。此功能允許針對多種氣體校準(zhǔn)相同的 DFC，同時保持每種氣體的額定精度。

轉(zhuǎn)換因子

多達 256 種氣體的轉(zhuǎn)換因子存儲在 DFC 中。轉(zhuǎn)換因子可以通過數(shù)字接口命令應(yīng)用于十種氣體校準(zhǔn)中的任何一種。

流量警報

氣體流量警報上限和下限使用數(shù)字接口進行編程。報警條件通過數(shù)字接口報告或激活觸點閉合輸出。

可編程流程

Aalborg 軟件支持可編程流程模式，允許執(zhí)行多達十個步驟的自定義編程。各種流量配置包括斜坡、線性增加和減少模式。

自動調(diào)諧

AUTO TUNE 功能允許 DFC 在實際過程條件下自動優(yōu)化氣體的控制響應(yīng)。在 AUTO TUNE 過程中，儀器調(diào)整 PID 增益以獲得佳階躍響應(yīng)并確定關(guān)鍵控制閥特性（僅適用于大流量小于 80 L/min 的設(shè)備）。

聯(lián)系關(guān)閉

提供兩組干接點繼電器輸出來驅(qū)動用戶提供的設(shè)備。這些可通過數(shù)字接口進行編程，以便在發(fā)生事件時（例如，當(dāng)超出低流量或高流量警報限制或當(dāng)累加器達到值時）切換繼電器。

閥門超控

裝置通過模擬或數(shù)字接口強制控制閥打開（吹掃）或關(guān)閉。

自診斷

每當(dāng)次通電時，DFC 都會運行一系列自診斷測試，以確保其處于佳工作狀態(tài)。

工程單位

流量設(shè)定點、測量的氣體流量和相關(guān)的累加器數(shù)據(jù)通過數(shù)字接口命令直接以工程單位換算。

支持以下測量單位：FS、mL/min、mL/hr、scfm、scfh、sL/min、sL/hr、lbs/hr、lbs/min 和一種用戶定義的測量單位。

泄漏完整性

1 x 10 -9 smL/sec 大氦氣到外部環(huán)境。

平衡電源

DFC 在±15Vdc 下運行。正負電源的電流要求是平衡的，以使電源公共連接中的電流小化。±15Vdc 時的大功耗為 13.5 瓦。