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GEFRAN杰弗倫LT位移傳感器:廣泛應用于注塑、機床及機械加工等行業,無限分辨率,行程:50至900mm,獨立線性度:±0.05%,位移速度達到:celtron5m/s、10 m/s可選,工作溫度:-30至+100℃,多種電氣連接方式,保護等級:IP60(IP65可選)。
PA1-C-0100-S;GEFRAN杰弗倫傳感器PC系列意大利GEFRAN杰弗倫位移傳感器:
該系列的設計滿足的應用在機械強度方面的要求。10毫米直徑的桿,大鋼接頭,鋼筋本系列機械理想結構金屬加工,木材,陶瓷。安裝的電氣信號的缺乏的簡化外電腦卒中的輸出變化理論基于自對準和承重結構球接頭允許組件與自由運動傳感器軸。
PA1-C-0100-S;GEFRAN杰弗倫PC系列型號如下PA1-C-0100-S:
PC-M-50,PC-M-100,PC-M-130,PC-M-150,PC-M-175,PC-M-200,PC-M-225,PC-M-275,PC-M-300,PC-M-375,PC-M-400,PC-M-450,PC-M-500,PC-M-600,PC-M-750
GEFRAN杰弗倫PC位移傳感器:行程:50至750mm,使用壽命:>1億次或>25×1000000米,機械固定并使用雙珠自整連接,zui大角度位移超過±30o,無限分辨率,獨立線性達±0.05%,位移速率達5m/s,工作溫度:-30至+100℃,保護等級:IP65。
PA1-C-0100-S;GEFRAN杰弗倫傳感器PA1系列意大利GEFRAN杰弗倫位移傳感器:
傳感器的緊性使得它適合于在小的空間和用于檢測小的變化,HBM安裝。聯合起來以松弛和M4線程提供在運動中更大的公差。LT-M-0130-S 安裝的電氣信號的缺乏的簡化外電腦卒中的輸出變化理論。理想的小型機械設備,閥門,和測試工具長凳。
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PA1-C-0100-S;GEFRAN杰弗倫傳感器PA1系列型號如下PA1-C-0100-S:
PA1-C-025-S,PA1-C-050-S,PA1-C-075-S,PA1-C-0100-S,PA1-C-0125-S,PA1-C-0150-S,PA1-F-025-S,PA1-F-050-S,PA1-F-075-S,PA1-F-0100-S,PA1-F-0125-S,PA1-F-0150-S
GEFRAN杰弗倫PA1位移傳感器:行程:25至150mm,利用M4螺紋機械連接,無限分辨率,獨立線性達±0.05%,位移速率達5m/s,工作溫度:-30至+100℃,使用壽命:>1億次或>25×1000000米,保護等級:IP40。
傳感器技術是現代測量和自動化系統的重要技術之一,LT-M-0130-S從宇宙開發到海底探秘,從生產的過程控制到現代文明生活,幾乎每一項技術都離不開傳感器,因此,許多國家對傳感器技術的發展十分重視,如日本把傳感器技術列為六大核心技術(計算機、通信、激光、半導體、超導體和傳感器) 之一。在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小、 重量輕、靈敏度高、穩定可靠、成本低、便于集成化的優點,可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制。除此以外,還廣泛應用于水利、地質、氣象、化工、醫療衛生等方面。由于該技術是平面工藝與立體加工相結合,又便于集成化,所以可用來制成*、風速計、水速計、壓力表、電子稱以及自動報警裝置等。壓力傳感器已成為各類傳感器中技術zui成熟、性能zui穩定、的一類傳感器。因此對于從事現代測量與自動控制專業的技術人員必須了解和熟識國內外壓力傳感器的研究現狀和發展趨勢。
1 壓力傳感器的發展歷程
現代壓力傳感器以半導體傳感器的發明為標志,而半導體傳感器的發展可以分為四個階段
(1) 發明階段(1945-1960年):這個階段主要是以1947年雙極性晶體管的發明為標志。此后,半導體材料的這一特性得到較廣泛應用。史密斯(C.S.Smith) 與1945 發現了硅與鍺的壓阻效應,即當有外力作用于半導體材料時,其電阻將明顯發生變化。依據此原理制成的壓力傳感器是把應變電阻片粘在金屬薄膜上,即將力信號轉化為電信號進行測量。此階段zui小尺寸大約為1cm。
(2) 技術發展階段(1960-1970年):隨著硅擴散技術的發展,技術人員在硅的(001) 或(110) 晶面選擇合適的晶向直接把應變電阻擴散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成較薄的硅彈性膜片,稱為硅杯。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定性好、成本低、便于集成化的優點,實現了金屬- 硅共晶體,為商業化發展提供了可能。
(3) 商業化集成加工階段(1970-1980年):在硅杯擴散理論的基礎上應用了硅的各向異性的腐蝕技術,擴散硅傳感器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術為主,發展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術,主要有V形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。由于可以在多個表面同時進行腐蝕,數千個硅壓力膜可以同時生產,實現了集成化的工廠加工模式,成本進一步降低。
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