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SF6氣體回收凈化充放裝置由回收系統、充氣系統、抽真空系統、凈化系統、氣體貯存系統組成，用于SF6氣體絕緣電器設備的制造廠，使用運行科研等部門, 對各種電器設備進行抽真空，對電器設備充入SF6氣體，并從使用或試驗的電器中回收SF6氣體,同時進行凈化處理壓縮貯存到貯罐。為了更好的了解該儀器，在使用前，我們應該清楚其工作流程。
SF6氣體回收凈化充放裝置工作流程：
1、SF6氣體的回收
當SF6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻，可以氣態也可以在一定高壓下以液態形式儲入SF6貯罐。
（見圖1）
2、SF6開關抽真空 使用真空泵把電器開關中的氣體可以抽除，真空泵的出口通向大氣。（見圖2）
3、充氣 經凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內壓力達到設定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進行：
1）、借助SF6貯罐壓力使氣體流向SF6開關，直至達到預定的充氣壓力。（見圖3）
2）、當SF6貯罐壓力與SF6開關壓力平衡時，再采用壓縮機進行加壓充氣，直至達到預定充氣壓力。（見圖4）
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