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壓力傳感器工作原理及特點

時間:2009/2/24閱讀:935
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壓力傳感器工作原理及特點 
壓力傳感器工作原理及特點

壓阻式
壓力傳感器采用集成電路工藝技術,在硅片上制造出四個等值的薄膜電阻并組成電橋電路,當不受力作用時,電橋處于平衡狀態,無電壓輸出;當受到壓力作用時,電橋失去平衡而輸出電壓,且輸出的電壓與壓力成比例。
  壓阻式壓力傳感器具有以下特點:
  ①壓阻式
壓力傳感器的靈敏系數比金屬應變式壓力傳感器的靈敏度系數要大50-100倍。有的時候壓阻式壓力傳感器的輸出不需要放大器就可直接進行測量。
  ②由于它采用集成電路工藝加工,因而結構尺寸小,重量輕。
  ③壓力分辨率高,它可以檢測出像血壓那么小的微壓。
  ④頻率響應好,它可以測量幾十千赫的脈動壓力。
  ⑤由于
傳感器的力敏元件及檢測元件制在同一塊硅片上,所以它工作可靠,綜合精度
高,且使用壽命長。
  ⑥由于采用半導體材料硅制作,傳感器對溫度比較敏感,如不采用溫度補償,其溫度誤差較大。

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