A100-AFM裝備了閉環樣品定位系統。
它保證了定位的精度在10納米（這比市場上的閉環原子力顯微鏡的性能好10倍）。
這些突出的特性，再配以APE研究的*的軟件工具，使得這款儀器適用于納米光刻。
A100-AFM SGS 配備了彎曲掃描鏡臺，這保證了高平面度使得用戶可以進行大范圍的測量（可以達到100微米）。
APE研發了原子力顯微鏡的附加工具，這可以用于一些具體的測量模式（如EFM（靜電力顯微鏡），MFM（磁力顯微鏡），Liquid cell（液體池））
我們還和意大利研究院合作研發其他工具以滿足用戶可能提出的要求。
A100-SGS AFM
A100-SGS SPM（掃描探針顯微鏡） 鏡臺
掃描鏡臺具有包含張力測量傳感器的獨立定位系統
掃描器技術資料：
X-Y掃描范圍：
100*100微米（高電壓模式）；
10*10微米（低電壓模式）
高電壓模式分辨率：閉環：2nm，開環：0.2nm
閉環線性度：0.1%
Z掃描范圍：10微米（高電壓模式）；
1微米（低電壓模式）；
分辨率：0.16納米（高電壓模式），
0.02納米（低電壓模式）。
AFM Head 適用于接觸模式，非接觸模式，半接觸模式和橫向力模式
AFM Head 具有工業級的懸臂支架保持器，該保持器可以移動（很容易在懸臂上安裝和拆卸），也很容易固定在懸臂上。頭部還具有裝備了激光和光電二極管傳感器的前置放大器。
SPMCU2-PI
SPM 控制單元
SPM控制單元和計算機（配別有多輸入輸出主板）驅動掃描器，數據采集和采樣運動
采樣距離的末端由超低噪聲的模擬反饋控制，該模擬反饋由計算機數字化驅動。
該系統的硬件時鐘是高速的和高精度的
HVA3-PI Unit
高電壓放大器
HAV是一種高電壓放大器模塊可以驅動A-100 SGS 掃描鏡臺
計算機和數據采集板
WindowsXP、Vista 操作系統；奔騰處理器或酷睿2，1G/2GDDR2 SDRAM內存，160G硬盤，DVD光驅，鍵盤和鼠標，19寸液晶顯示器，采集板和接口。
采集軟件
軟件運行是基于窗口的，為了儀器控制和數據采集，還支持多窗口操作。軟件具有簡易的濾波器可以實時分析并獲取圖像。軟件控制了儀器的所有參數。
APE研究的儀器裝備了圖像測量數據分析軟件的基本模塊，另外14項可選的功能也可以獨立的獲得。
輔助
光刻工具
隧道掃描顯微鏡工具
ＭＦＭ（磁力顯微鏡）工具
ＥＦＭ（電場力顯微鏡）工具
ＣＡＦＭ（導電原子力顯微鏡）工具
液體池
隔音箱
桌臺
其他可用的模塊
