濺射式的壓力敏感元件是在10級超凈間內,通過微電子工藝制造出來的。即在高真空度中,利用磁控技術,將絕緣材料、電阻材料以分子形式淀積在彈性不銹鋼膜片上,形成分子鍵合的絕緣薄膜和電阻材料薄膜,并與彈性不銹鋼膜片融合為一體。再經過光刻、調阻,溫度補償等工序,在彈性不銹鋼膜片表面上形成牢固而穩定的惠斯頓電橋。此電橋便是儀表、傳感器等測量器件中的基本環節。當被測介質壓力作用于彈性不銹鋼膜片時,位于另一面的惠斯頓電橋則產生正比于壓力的電輸出信號。將此信號經放大調節等處理。再配以適當的結構,就成為應用于各個領域中的壓力傳感器和壓力變送器。
目前市場上常見的壓力傳感器有擴散硅式、差壓電容式、陶瓷壓阻式、金屬應變片粘貼式等多個品種。濺射薄膜式壓力傳感器是近幾年來剛剛邁入市場的*。它的一大突出特點是受溫度影響小。在溫度變化100℃時,零點漂移僅為0.5%。其溫度性能遠遠優于擴散硅式壓力傳感器。其次它的耐高溫性也非常的*,工作介質溫度可以直接測量-20℃~420℃比市面上一般的壓力傳感器適用溫度范圍更寬。
由于濺射式以惠斯頓電橋與彈性不銹鋼膜片間有很好的匹配并成為一體,而不存在任何膠粘劑。所以比粘貼式應變片傳感器顯示出高的*穩定性與可靠性。
鈦合電子生產的濺射薄膜壓力傳感器采用的是離子束濺射薄膜技術,高靈敏的壓力芯體全焊接封裝在不銹鋼殼體內,具有準確度高、輸出信號大、工作壽命長、適用溫度范圍寬、*穩定性好,功耗低、無遲滯、重復性好等特點。耐受頻繁壓力沖擊、振動,5倍以上壓力過載,主要應用于工業現場和軍事裝備。
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