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自動橢圓偏振測厚儀 橢圓偏振測厚儀

時間:2015-3-23閱讀:87
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自動橢圓偏振測厚儀 橢圓偏振測厚儀 型號:TPY-2

TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,于不同用戶的需要。
規(guī)格與主要技術指標:
測量范圍: 薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍:1-10
測量Z小示值: ≤1nm 入射角:20°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度: 每格1度 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器步進角: 0.014°/步 偏振器方位角范圍:0°- 180°
測量膜厚和折射率重復性精度分別為:0.5nm和0.005
TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀儀器測量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時)
光學中心高度:80mm
成套性:主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計算機)
主機重量:26kg 外形尺寸:680*390*310mm 

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