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高精密勻膠機 SC200-SE

時間:2021/2/25閱讀:1598
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精密勻膠機型號:SC200-SE

主要性能指標:
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔) 
旋涂程序:多存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1秒 
轉動速度:0-5,000rpm(更速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm 
旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s 
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm 
轉速調節精度<1rpm,重復性< 1rpm 
工藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec 
支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圓晶) 
旋涂作業均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量)


產品特性優點:
新的內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。 
7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。 
Telon ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。 
標準配置轉速5000rpm,并可根據用戶需要進行定制。
采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。 
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。 
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。 
透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發。


產品外型尺寸:
     613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)  

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