現(xiàn)在人們說的
壓力傳感器是由兩部分組成的,即分別是敏感元件和轉(zhuǎn)換元件。其中敏感元件是指傳感器中能夠直接感受或響應(yīng)被測量的部分;轉(zhuǎn)換元件是指傳感器中將敏感元件感受或響應(yīng)的被測量轉(zhuǎn)換成適于傳輸或測量的電信號部分。由于傳感器的輸出信號一般很微弱,需要將其調(diào)制與放大。隨著集成技術(shù)的發(fā)展,人們又將這部分電路及電源等電路也一起裝在傳感器內(nèi)部。這樣,傳感器就可以輸出便于處理,傳輸?shù)目捎眯盘柫恕6谝郧凹夹g(shù)相對落后時,所謂的傳感器是指敏感元件,而變送器就是轉(zhuǎn)換元件。
壓力傳感器一般是指將變化的壓力信號轉(zhuǎn)換成對應(yīng)變化的電阻信號或電容信號的敏感元件,如:壓阻元件,壓容元件等。而壓力變送器一般是指,壓敏元件與調(diào)理電路共同組成的測量壓力的整套電路單元,一般能直接輸出與壓力成線性關(guān)系的標(biāo)準(zhǔn)電壓信號或電流信號,供儀表、PLC、采集卡等設(shè)備直接采集。
壓力傳感器的種類繁多,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。目前應(yīng)用較為廣泛的壓力傳感器有:擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器、陶瓷壓阻壓力傳感器、濺射薄膜壓力傳感器、電容壓力傳感器、耐高溫特性的藍(lán)寶石壓力傳感器。但應(yīng)用的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。
比如濺射薄膜傳感器也是利用電阻應(yīng)變效應(yīng)工作的,與傳統(tǒng)應(yīng)變式壓力傳感器屬于同一原理。兩者的主要差別制作工藝上。濺射薄膜壓力傳感器延用了測量壓力的金屬彈性膜片原理,應(yīng)用離子束濺射和刻蝕工藝,將應(yīng)變電橋直接制作在金屬測壓膜上,由于沒有活動部件,抗震動和抗沖擊能力很強(qiáng),可用于惡劣的環(huán)境。