等離子發射氣相色譜儀適用于超高純氣體中ppt級雜質的檢測，系統配備具有超高靈敏度的等離子發射檢測器，多點串聯式載氣純化系統，采用內壁經Steak鈍化處理的合金色譜柱管材，經過交聯抗氧化處理色譜柱擔體，防止拖尾和氧吸附的發生。
等離子發射氣相色譜儀等離子發射檢測器是一個靈敏度*的通用型檢測器，其內部有一個設計*的，加載高頻高壓電場的石英腔體。當氣體樣品通過石英腔體時被高壓發生器電離，產生一種叫做場致發光的熒光現象并發射出特征譜線，發射譜線隨著載氣中不同物質而發生變化，用這種光發射技術來對樣品進行定量分析。
檢測器產生的光信號被光學系統檢測到，光學系統包括濾光片和光電二極管，濾光片會根據波長選擇性地濾出光信號，并通過光電二極管轉化為電信號，經信號電壓發大器將信號放大到分析所需的程度。
等離子發射氣相色譜儀技術特點
1、經特殊加工的色譜柱技術
（1） 色譜柱管材采用合金材料，內壁經Steak鈍化處理，防止吸附和一氧化碳拖尾等問題的產生
（2） 色譜柱擔體均經過交聯抗氧化處理，避免發生氧吸附
（3） 采用獲得國家的微型填充柱技術，樣品的分離，兼顧分離、穩定與快速
（4） 氧氬可實現分離
