過去幾年里，中國科學技術大學已經安裝了多套牛津儀器等離子體系統，包括PlasmaPro 100 ICP380，PlasmaPro NGP 80 RIE 及PlasmaPro 100 PECVD 沉積系統。

    中國科學技術大學的朱教授說：“的牛津儀器等離子體刻蝕系統將大大提高我們目前量子信息處理課題的研究進展。之所以選擇牛津儀器等離子體刻蝕系統，是因為我們發現不僅這套設備具有廣泛的處理能力及高靈活性，牛津儀器還提供一系列的服務與支持。這些設備使得我們的研究極限進入到微納米的尺度。”

    朱教授繼續說道：“中國科學技術大學在納米科學工程領域有很強的研究背景，我們新建的納米制造中心將致力于微納米尺度上相合作、交叉學科的基礎研究。”

   牛津儀器等離子體的銷售與市場總監David Haynes 說：“我們非常高興又收到中國科學技術大學的一個訂單，同樣作為制造系統，我們的等離子體系統采用了很多全新、*的技術，并已用于的基礎研究與開發。中國科學技術大學購買牛津儀器的等離子體系統用于量子計算的前沿研究的消息，對我們來說是非常振奮的消息。”

     量子信息處理將是9月24-25日2014納米技術與應用研討會上的重要議題，此次研討會由牛津儀器主辦，報名者可免費參加此次會議。