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壓電偏擺 / 旋轉臺系列

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壓電偏擺 / 旋轉臺
壓電偏擺 / 旋轉臺系列是通過壓電陶瓷驅動進行精密角度調整，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯結構設計，確保了產品具有較高的偏轉精度和穩定性，且響應速度快，非常適于激光光束掃描以及激光合束等光路調整應用。
S20 系列壓電旋轉臺
S20 系 列 壓 電 旋 轉 臺 為 一 維 θz 旋 轉 臺， 中 心 通 孔 孔 徑 為20mm，體積小巧結構緊湊，旋轉角度可達 0.5mrad，承載能力達4kg。
S21.R3S/K 壓電旋轉臺
S21.R3S 壓電旋轉臺是一維 θz 運動的壓電納米定位臺，它的外形結構緊湊，非常易于集成。
S21.R7S/K 壓電旋轉臺
S21 系列壓電旋轉臺為一維 θz 旋轉臺，產品體積小巧，旋轉角度可達 7.5mrad，承載能力達 0.1kg，可帶載鏡片等做精密旋轉運動。
S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺
S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺，是一維 θx 偏轉臺，它是專為大負載應用而設計，如模擬空間擾動應用。 
S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺的負載方式是側臥式，它的負載能力達7kg，100V 驅動電壓下的偏轉角度為 0.19mrad，對應的閉環階躍時間為 17ms。
S50.U0C/K-D1 系列壓電偏擺臺
S50.U0C/K-D1 系列為一維 θx 軸偏擺的壓電偏擺臺，它的承載能力可達 60kg，偏轉角度為 ±0.25mrad。它采用電容式閉環傳感器，分辨率可達 10nrad，并可在 20kg 載荷下高頻率工作。它非常適于大負載偏擺運動實驗，如空間擾動模擬等。
S50.UR0C/K 系列壓電偏擺 / 旋轉臺
S50.UR0C/K 系列為 θx、θz 軸偏擺 / 旋轉臺，承載能力可達 40kg，偏轉角度 ±0.25mrad。可帶載 20kg 負載高頻率使用。產品主要應用于大負載偏擺 / 旋轉運動實驗，例如模擬空間擾動實驗等。
S50.UR0C/KA 系列壓電偏擺臺
S50.UR0C/KA 系列壓電偏擺臺是專為大負載應用而設計，承載可達 5kg。它的閉環版本是采用電容式反饋傳感器，空載諧振頻率可達 1kHz。
S51.ZT0S/K-B 系列壓電偏擺臺
S51.ZT0S/K-B 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺，可產生 θx、θy 兩軸偏轉及 Z 向直線運動，中心具有大型通孔，適于透射光等應用。
S51 系列壓電偏擺 / 升降臺
S51 系列是具有中心通孔的三維 θxθy 及 Z 軸運動的壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環定位精度高，80×80mm中心大通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學系統中。
S51.ZT2S/K-C1 系列壓電偏擺臺
S51.ZT2S/K-C1 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺，可產生θx、θy兩軸偏轉及Z向直線運動，中心具有大型通孔，適用透射光等應用。
S54.T0S/K-B 系列壓電偏擺臺
S54.T0S/K-B 系列是客戶定制版壓電偏擺臺，可實現 θx、θy 二維偏擺運動。整體采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環定位精度高。結構緊湊，搭配大中心通孔設計，易于集成在顯微及掃描等光學系統中。
S54.T0S/K-C 系列壓電偏擺臺
S54.T0S/K-C 系列壓電偏擺臺，可實現 θx、θy 二維偏擺運動。整體采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環定位精度高。承載上限可達 8kg，適合大負載應用。中心通孔達 200mm×200mm，適用透射光等應用。
S54.T2 系列壓電偏擺臺
S54.T2 系列是具有中心通孔的二維 θxθy 軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環定位精度高，80×80mm 中心通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學系統中。
H60 系列六自由度并聯機構
H60 系列六自由度并聯機構，是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六軸運動工作臺，通過六支壓電促動器的并聯協調伸縮實現空間內六個自由度的運動，臺體結構緊湊，三種規格型號可供選擇，閉環型號定位精度更高，適用于六自由度微操作、微電子精密加工、檢測等應用。
H61.XYZTR0 六軸壓電偏擺臺
H61.XYZTR0 壓電偏擺臺可產生六軸的超精密運動，適用于靜態六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉，中心具有50mm×50mm 的通孔，適于透射光應用。
XD500.T0S/K-B 壓電偏擺臺
XD500.T0S/K-B 壓電偏擺臺為 θx、θy 二維偏轉的壓電偏擺臺，它的承載能力達 10kg，是專為大負載偏轉應用而設計。
XD500.T4 系列壓電偏擺臺
XD500.T4 壓電偏擺臺是二維偏擺的運動平臺，它的承載能力可達 1kg，大型移動臺面，適用于大型反射鏡的安裝及偏轉調節。
XD502 系列壓電偏擺臺
XD502.ZT2S/K-B 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺，可產生 θx、θy 兩軸偏轉及 Z 向直線運動。它的承載能力可達5kg，閉環重復定位精度可達 0.006%F.S.，適用于各種高精度應用領域。同時中心具有 55×55mm^2 的通孔，適用于透射光應用。
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