直線壓電馬達(dá)、360 度旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)、壓電螺釘促動(dòng)器、壓電鏡架、壓電調(diào)平臺(tái)、壓電搖擺臺(tái)、壓電調(diào)平臺(tái)、壓電馬達(dá)偏轉(zhuǎn)鏡、六軸壓電馬達(dá)平臺(tái)、壓電馬達(dá)控制器。

N11 系列直線壓電馬達(dá)

N11 系列直線壓電馬達(dá)采用粘滑原理，將 PZT 壓電陶瓷的微運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為毫米級(jí)長(zhǎng)行程。它的體積非常小巧，僅 15×15×7mm^3。而它的行程卻可高達(dá) 3.6mm，非常適用于受限空間中毫米范圍行程的調(diào)整應(yīng)用。

特點(diǎn)

• 行程可達(dá) 3.6mm • 一至三維可選 • 體積小、重量輕 • 速度可達(dá) 2mm/s • 斷電自鎖

應(yīng)用

• 超分辨成像樣品移動(dòng) • 微納裝備及制造 • 掃描電鏡（SEM）樣品操縱 • 納米聚焦與掃描 • 主動(dòng)光學(xué) 

• 集成電路制造與檢測(cè) • 顯微及納米 CT • 大范圍電子束直寫(xiě)（EBL） • 高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿

N31 系列直線壓電馬達(dá)

N31系列直線壓電馬達(dá)，內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動(dòng)，直線運(yùn)動(dòng)行程可選6、10、25、50、100mm，可達(dá)亞納米級(jí)分辨率。可選配閉環(huán)伺服傳感器（光柵傳感器），具有更高的定位精度。

可選移動(dòng)臺(tái)面。

特點(diǎn)

• 大出力 • 閉環(huán)誤碰后自動(dòng)歸位 • 可軟件操作自動(dòng)找零位 • 可選光柵數(shù)字閉環(huán) • 采用耐磨材料 • 可選二 / 三維 • 可定制真空版本

N31 系列三維閉環(huán)壓電馬達(dá)

N31 系列三維閉環(huán)壓電馬達(dá)可在 XYZ 三個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，配備有光柵傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動(dòng)，每軸運(yùn)動(dòng)行程可選 25、50、100mm，可達(dá)納米級(jí)分辨率。

特點(diǎn)

• 行程 25、50、100mm/ 軸可選 • 納米級(jí)分辨率 • 承載達(dá) 2.5kg • 光柵傳感器

應(yīng)用

• 超分辨成像樣品移動(dòng) • 微納裝備及制造 • 掃描電鏡（SEM）樣品操縱 • 納米聚焦與掃描 • 主動(dòng)光學(xué)

• 集成電路制造與檢測(cè) • 顯微及納米 CT • 大范圍電子束直寫(xiě)（EBL） • 高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿

N56 系列直線壓電馬達(dá)

N56 系列直線壓電馬達(dá)是采用壓電微驅(qū)動(dòng)技術(shù)，即利用壓電微位移致動(dòng)器實(shí)現(xiàn)高精度定位和運(yùn)動(dòng)的技術(shù)，將壓電陶瓷在一定電場(chǎng)作用下的微變形量，經(jīng)過(guò)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換，輸出宏動(dòng)直線毫米級(jí)行程。

特點(diǎn)

• 壓電驅(qū)動(dòng) • 高分辨率 • 行程可達(dá) 50mm • 小體積 • 可選二、三維運(yùn)動(dòng)版本 • 開(kāi) / 閉環(huán)、真空版可選

應(yīng)用

• 小負(fù)載、大行程納米定位 • 科學(xué)研究 • 光纖對(duì)接 • 微細(xì)加工 • 原子力顯微鏡 • 半導(dǎo)體的精密定位和微納操作

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