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壓電掃描臺柔性導(dǎo)向系統(tǒng)的優(yōu)勢
壓電掃描臺是一款定制設(shè)計的三維運(yùn)動的壓電平臺，具有特殊的負(fù)載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準(zhǔn)、納米聚焦、測量等應(yīng)用。壓電掃描臺中心具有通孔且體積小巧、無摩擦、分辨率高、響應(yīng)速度快，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有高的可靠性。產(chǎn)品主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統(tǒng)等。
采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，鉸鏈機(jī)構(gòu)基于固體的彈性變形，無滾動和滑動部分，具有零摩擦、高精度的特點，并且具有很高的剛度和承載能力。更重要的是，芯明天壓電納米定位臺的定位精度可達(dá)納米級甚至亞納米級。
壓電納米運(yùn)動系統(tǒng)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點。同時壓電效應(yīng)將電能直接轉(zhuǎn)換為運(yùn)動，在靜態(tài)操作時，即使在負(fù)載情況下，也不會消耗功率。
除了在光刻實驗中有著應(yīng)用，還在激光直寫系統(tǒng)中有著廣泛的應(yīng)用。激光直寫是利用強(qiáng)度可變的激光束對基片表面的抗腐蝕材料實施變劑量曝光，顯影后在抗腐蝕層表面形成所要求的浮雕輪廓，激光直寫系統(tǒng)的基本工作原理是由計算機(jī)控制高精度激光束掃描，在光刻膠上直接曝光寫出所設(shè)計的任意圖形，從而把設(shè)計圖形直接轉(zhuǎn)移到掩模上。
