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壓電納米定位臺與光纖3D檢測技術的聯用
壓電納米定位臺具有移動面，是通過帶有柔性鉸鏈的機械結構將壓電陶瓷產生的位移及出力等進行輸出，分直驅與放大兩種結構。以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺，驅動形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。運動范圍可達500μm，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可實現納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領域中發揮著主要作用。
近年來，由于光通信技術飛速發展，光纖連接器作為光通信基本的光源器件，所以對其質量及可靠性有了更嚴格的要求。為了提高光纖連接及光信號傳輸的效率，因此光纖端面的檢測至關重要。
為得到光纖端面的三維參數，通常根據光學干涉來進行測量。其中由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺用于移動3D干涉儀系統中米羅的干涉物鏡或光纖連接器以產生位相移動，分5步位相移動，每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。
壓電納米定位臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現100μm位移。閉環版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦等特點。
此外，壓電納米定位臺還可用于：
•光路調整；
•納米操控技術；
•納米光刻，生物科技；
•激光干涉；
•CCD圖像處理；
•納米測量、顯微操作；
•納米壓印、納米定位；
•顯微成像，共焦顯微。
