山西方向科技有限公司
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ICP-MS分析特性●可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素●的檢出限（低至ppq級）●分析效益/成本比●最寬的線性動態范圍可直接檢測從ppq到數百ppm濃度●譜線、干擾最小
ICP-MS分析特性
● 可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素
● 的檢出限（低至ppq級）
● 分析效益/成本比
● 最寬的線性動態范圍—可直接檢測從ppq到數百ppm濃度
● 譜線、干擾最小，準確度和精密度好
● 需要樣品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1?3分鐘/樣品）
● 檢測模式靈活多樣
半導體工業常用材料中超痕量污染物分析
固體：Si;GaAa單晶切片；石英、碳化硅等爐材料；高純金屬電極等
液體：超純水；HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
氣體：SiH4;TE0S;NF3;N2等
Agilent ICP-MS技術的應用領域包括：
● 環境樣品分析，包括自來水、地表水、地下水、海水以及各種土壤、廢棄物等的分析；
● 半導體材料分析
● 玻璃、陶瓷和礦冶等樣品分析；
● 地質學研究；
● 生物食品及醫藥臨床研究；
● 核材料分析
● 石油化工樣品分析；
● 法醫應用與研究；
● 最近，與分離技術聯用進行環境毒理、生命科學等領域的元素價態、形態分析成為ICP-MS技術應用的一個焦點。
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