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小流量液體流量計容積式流量計常見的有圓柱齒輪式和橢圓齒輪式儀表，通過磁性或光電檢出齒輪轉數，常用于測量石油制品，如動力機耗油量計量、潤滑油流量監測，以及各種添加劑注入量控制等。其優點是不受黏度、密度、流速分布影響，可測量高黏度液體；液體流量計缺點是有活動部件會產生磨損微粒，壓損相對較大。齒輪式儀表zui小滿度流量為4L/min，度±0.5%；橢圓齒輪式儀表zui小滿度流量為0.1L/min，度±2%，范圍度低黏度液體為10:1，中等黏度液體為100:1，高黏度液體則更高。
液體流量計是在上世紀80年代初半導體制造業需求的推動下得到發展的，現仍是其主要使用產業。熱式流量計是當前氣體小流量測量的主導品種，zui小滿度流量為5mL/min（標準狀態），測量度±（1~2）%FS。
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