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擴散硅壓力傳感器的溫漂是怎么產生的?

閱讀:220發布時間:2022-11-6

在學習和使用壓力傳感器的過程中我們經常會聽到溫漂一詞,那么什么是溫漂,壓力傳感器的溫漂又是如何產生的呢?

溫漂:是指受溫度影響而引起的零點不穩定。

擴散硅壓力傳感器的溫漂主要來源于兩個方面:

方面是零部件本身的溫漂;

第二方面是傳感器在膨脹過程中產生的應力,傳感器的核心器件是壓力芯片,壓力芯片本身對溫度就比較敏感,會隨著溫度的變化產生一定的漂移量;另外在封裝過程中,傳感器需要充灌硅油,以便把力從壓力膜片,傳導到壓力芯片上,硅油在溫度變化中,產生熱脹冷縮,從而產生一定的應力,這個應力作用到壓力芯片上,造成傳感器的漂移;還有就是壓力芯片,他是用膠和傳感器底座連接在一起的,由于壓力芯片和傳感器底座是兩種不同的材料,膨脹系數不一樣,所以在溫度變化中兩種不同膨脹系數的材料之間也會產生一定的應力,從而產生一定的溫漂,這些是擴散硅壓力傳感器溫漂的主要來源。

為在一定程度上減少壓力傳感器的溫漂,技術人員在設計壓力傳感器的過程中,要盡量減少充油芯體相及的體積,以減少充油的量,在粘接壓力芯片的過程中,盡量選用合適的膠,以減少粘結產生的應力,傳感器底座材料的選擇,要考慮和壓力芯片,膨脹系數相近的材料,從而減少溫漂的產生。

責任編輯:南京沃天科技有限公司

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