DH500JJC多靶磁控濺射鍍膜機
DH500JJC多靶磁控濺射鍍膜機主要用于科研實驗，可制備納米級和微米級的單層及多層工能膜-各種硬質膜，光學膜，金屬膜，鐵磁薄膜，半導體膜，介質膜和氧化物薄膜等多種薄膜。
該鍍膜機為前開門式設計，功能強，鍍膜質量穩定，重復性好，操作簡便。真空室材料均采用優良材質SUS304不繡鋼材料制造，工藝規范，精致，保證了材料的成膜純度。
采用分子泵+直聯機械泵機組，具有抽速快，無油，操作方便快捷，易于維護的特點。
◆ 鍍膜方式：可實現多靶共濺模式
◆ 磁控靶：圓柱/平面靶；
◆ 進氣系統：三路質量流量計；
◆ 鍍膜室體積：500×500×600mm3
◆ 極限真空度：6.7×10-5Pa; 恢復真空度：從大氣抽到6.7×10-4Pa;﹝40分鐘﹞
◆ 真空抽氣系統：機械泵與分子泵組成；
◆ 真空測量系統：數顯復合真空計；
◆ 工作電源：真流電源500W；射頻電源500W﹝13.56MHz﹞；加熱控溫電源；
◆ 工作烘烤溫度：室溫～800℃可控可調﹝PID控溫﹞；
◆ 選配件：石英晶振測厚儀，冷卻水機組等；
◆ 供電電源：三相AC380V，50Hz
◆ 特殊規格可定制。
相關產品：TWST632TW/ST660/TWST685遠距離紅外測溫儀；TWST672/ TWST677/TWST689/TWST688S高溫遠距離紅外測溫儀；TWST689帶USB接口遠距離紅外測溫儀；TWST631；TWST658紅外食品測溫儀；ZY-11BL小目標超遠距離紅外測溫儀；XL150C/XL300C超遠距離紅外測溫儀；UT1160A/B/C紅外熱像儀；UT180/UT1100經濟型紅外熱像儀；TWTES1365/LUTRONHD3008溫濕度計；TWCENTER342溫濕度記錄儀；RERRK8/16多路溫度巡檢儀；Fluke1523/1524參考測溫儀
