DHFC1多功能薄膜性能測試儀
DHFC1多功能薄膜性能測試儀由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導率測量儀兩部分組成。DHFC1多功能薄膜性能測試儀具有測量精度高，靈敏度高，穩定性好，測量范圍寬，結構緊湊，使用方便等特點。DHFC1多功能薄膜性能測試儀適用于半導體材料廠，半導體器件廠，科研單位，高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。 四探針測試儀由主機，測試架等部分組成。可以測量片狀，塊狀，塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻），功能材料暗電導和光電導及溫度的變化的特性，還可以對金屬導體的低，中值電阻進行測量。測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確，游移率小，壽命長。
非晶硅薄膜電導率測量儀由樣品室，溫控系統，真空系統，高阻測量系統等部分組成。
1. 測量范圍：電阻測量范圍：1×106 ～ 1×1017Ω；
電阻率：0.001～200Ω cm;
電導率：0.005～1000s/cm;
2. 可測晶片直徑：200mm×200mm;
3. 探針：碳化鎢或高速鋼；探針間距：1± 0.01mm;
4. 針間絕緣電阻： ≥ 1000 MΩ； 機械游移率：≤0.3%；
5. 本底真空度： ≤10Pa,氣壓可控范圍：10～400Pa;
襯底加熱溫度：室溫度～200℃
四探針測試儀 薄膜電導率測試儀
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