SHST2248A多功能微小電阻測試儀
一、概述
SHST2248A型數字式多功能四探針測試儀(多功能微小電阻測試儀)是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，SHST2248A多功能微小電阻測試儀（多功能四探針測試儀）可以測量片狀、塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。換上特制的四端子測試夾具，還可以對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。
SHST2248A多功能微小電阻測試儀（多功能四探針測試儀）特贈設測試結果分類功能，*大分類10類
SHST2248A多功能微小電阻測試儀（多功能四探針測試儀）由主機、測試探頭（可選配測試臺）等部分組成。主機主要由數控恒流源、高分辨率ADC、鍵盤輸入、顯示驅動及嵌入式單片機系統組成。
SHST2248A多功能微小電阻測試儀（多功能四探針測試儀）所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；自動轉換量程，其電壓電流組合規則符合國家標準中關于半導體材料測試電壓電流選擇推薦要求；測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確、游移率小、壽命長；測試結果由數字表頭直接顯示。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構緊湊、測量簡便等特點。
SHST2248A多功能微小電阻測試儀（多功能四探針測試儀）適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料、電阻器、開關器件的電阻（率）性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻（率）及要求結果分選的場合。
二、技術參數
1. 測量范圍、分辨率
電 阻： 1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω
電 阻 率： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω-cm
方塊電阻： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ～ 0.1×103 Ω/□
2. 量程劃分及誤差等級
| 序號 | 量程 | 有效測量范圍/F | 單位 | 誤差 | 備注 |
| 1 | 200.0 kΩ-cm/□ | 210.0～020.0 | kΩ-cm/□ | ±0.5%FSB ±1LSB （在各量程范圍內） | 超量程:R＞250.0 kΩ或 ρ＞200.0 kΩ-cm或 欠量程: R＜20.0 mΩ ρ＜1.0 mΩ-cm 可測量，但誤差將隨超欠程度而變大 |
| 2 | 20.00 kΩ-cm/□ | 21.00～02.00 | kΩ-cm/□ |
| 3 | 2.000 kΩ-cm/□ | 2.100～0.200 | kΩ-cm/□ |
| 4 | 200.0 Ω-cm/□ | 210.0～020.0 | Ω-cm/□ |
| 5 | 20.00 Ω-cm/□ | 21.00～02.00 | Ω-cm/□ |
| 6 | 2.000 Ω-cm/□ | 2.100～0.200 | Ω-cm/□ |
| 7 | 200.0 mΩ-cm/□ | 210.0～000.0 | mΩ-cm/□ |
3. 可測半導體材料尺寸
直 徑： 測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，其他方式不限.
長（或高）度： 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
4. 測量方位
軸向、徑向均可
5. 數字電壓表：
⑴量程：10mV ～ 100 mV，自動
⑵顯示: 4位有效數字，*大顯示999.9 小數點、單位自動顯示
6. 數控恒流源
電流輸出：直流電流2µA～100mA可調，系統自動步進調整。
7. 四探針測試探頭：
⑴探 針 間 距： 1mm
⑵探針機械游移率： ±1.0%
⑶探 針： 碳化鎢，Φ0.5mm
⑷壓 力： 0～2kg可調,*大壓力約
2kg
8. 電源：
功 耗：< 3W
輸入:220V±10% 50Hz
9. 本儀器工作條件為：
溫 度： 23℃±2℃
相對濕度： ≥60%
工作室內應無強電磁場干擾，不與高頻設備共用電源。
10. 外形尺寸：
主機 180mm（長）×200 mm（寬）×70mm（高）
相關產品：Fluke17B數字萬用表；VC9802A+數字萬用表；FGW3866系列寬帶大功率信號源；REKRK1212系列大功率信號源；SUINSA3602A全自動失真度測試儀；HUAYISH1946系列高精度交直流電壓表；HUAYISH1911D真有效值寬頻交流電壓表；HUAYISH1912三值（平均值，有效值，峰值）交流電壓表；SUINSM2050A智能數字交流毫伏表; HUAYISH1948系列高精度交直流電流表；SWY1972PA高頻數字電壓電流表；SHQJ36S2智能高精度微小電阻測試儀；HUAYISH1941 數字式微歐計；TAIOUZC90E (防靜電)表面電阻測試儀；TAIOUPC57電纜電阻測試儀 ；FGSH200A智能開關接觸電阻測試儀；SUINSS7301智能頻率計數器；SHLCRZL5智能電感電容電阻測試儀；SUINSA5051RS高精度臺式萬用表；HP系列示波器探頭；FGS2571防雷接地電阻測試儀；FGS2671系列多電壓絕緣電阻測試儀
