成都福克儀器有限公司
SZ82數字式四探針測試儀(片狀薄層微小電阻測試儀)是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置,SZ82片狀薄層微小電阻測試儀(數字式四探針測試儀)可以測量片狀、塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率,測量擴散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)。SZ82片狀薄層微小電阻測試儀(數字式四探針測試儀)換上特制的四探針測試夾具,還可以對金屬導體的低、中值電阻進行測量。
SZ82數字式四探針測試儀
一、概述
SZ82型數字式四探針測試儀(片狀薄層微小電阻測試儀)是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置,SZ82片狀薄層微小電阻測試儀(數字式四探針測試儀)可以測量片狀、塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率,測量擴散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)。SZ82片狀薄層微小電阻測試儀(數字式四探針測試儀)換上特制的四探針測試夾具,還可以對金屬導體的低、中值電阻進行測量。
SZ82片狀薄層微小電阻測試儀(數字式四探針測試儀)由主機、測試架等部分組成,測試結果由數字表頭直接顯示。主機主要由高靈敏度直流數字電壓表和高穩定度恒流源組成。測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準確、游移率小、壽命長。
SZ82片狀薄層微小電阻測試儀具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、測量范圍寬、結構緊湊、使用方便等特點。
SZ82片狀薄層微小電阻測試儀適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。S工作條件:
溫 度: 23℃±
相對濕度: 60%~70%
工作室內應無強電磁場干擾,不與高頻設備共用電源。
⑵ 擴散層的方塊電阻測量
電流\電阻\電壓 | 0.2mV | 2mV | 20mV | 200mV | 2V |
100Ma | 2mΩ | 20mΩ | 200mΩ | 2Ω | 20Ω |
10mA | 20mΩ | 200mΩ | 2Ω | 20Ω | 200Ω |
1mA | 200mΩ | 2Ω | 20Ω | 200Ω | 2kΩ |
100μA | 2Ω | 20Ω | 200Ω | 2kΩ | 20kΩ |
10μA | 20Ω | 200Ω | 2kΩ | 20kΩ | 200kΩ |
電阻率范圍(Ω-cm) | 電流檔 |
<0.012 | 100mA |
0.008-0.6 | 10mA |
0.4-60 | 1MA |
40-1200 | 100μA |
>800 | 10μA |
電流\電阻率\電壓 | 0.2mV | 2mV | 20mV | 200mV | 2V |
100mA | 10-4~10-3 | 10-3 | | | |
10mA | | 10-3~10-2 | 10-1 | | |
1mA | | 10-1 | 1~20 | 10~50 | 102~103 |
100μA | | | | 200~500 | 103~104 |
10μA | | | | | 105 |
電壓量程 | 2V | 200mV | 20mV | 2mV | 0.2mV |
電流量程 | 100mA | 10mA | 1mA | 100µA | 10µA |
相關產品:FGSHA系列智能開關接觸電阻測試儀(智能回路電阻測試儀);FGSZR10A智能變壓器直流電阻快速測試儀;SHQJ36S2智能高精度直流小電阻測試儀;TAIOUPC36電線電纜直流電阻測試儀;TAIOUPC57成盤電纜直流電阻測試儀;HUAYISH1941數字式微歐計;M13252交直流兩用微歐計;SHSZ82片狀薄層微小電阻測試儀;DQ系列導體電阻測量夾具
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